Occasion ULVAC Entron EX W300 #9381852 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9381852
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
PVD Sputtering system, 12"
AC Rack
Pump rack
DC Power supply rack
Heater rack
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Transfer module: (2) Robot arms
(8) Chambers with pump
Multi-chamber process:
Metal
ITO
Furnace
Load module:
Load port
Robot arm
2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300 est un équipement de pulvérisation utilisé pour la production de couches minces par dépôt physique en phase vapeur. ULVAC ENTRON-EX W300 est un système de pulvérisation de bureau compact capable de déposer une grande variété de matériaux pour les structures de couches diélectriques, métalliques et résistives, conçu pour les applications de dépôt de couches minces et semi-conductrices. L'unité de pulvérisation peut pulvériser des matériaux cibles, notamment de l'aluminium, de l'or, du tantale, du platine, de l'oxyde d'aluminium et du dioxyde de silicium. ENTRON EX W 300 est conçu pour s'intégrer facilement dans des lignes de production manuelles ou automatisées, avec une faible empreinte et un centre de gravité bas. De plus, son port de vue en quartz optiquement clair permet une vision claire du matériau cible et du substrat sans avoir besoin d'une porte mobile. Il utilise un pulvérisateur à courant continu mono-axe breveté unique pour minimiser la maintenance et la consommation de gaz, ainsi qu'un insert breveté à changement rapide pour permettre le basculement rapide des matériaux cibles. La chambre à vide de la machine dispose d'un diagramme basse pression et d'un filtre magnétique à chargement frontal pour réduire les niveaux de poussière. L'outil est capable de produire des couches d'épaisseur et de composition uniformes grâce à un volet de sécurité breveté et une large gamme d'options de contrôle Auto Shut Asset. Le modèle Auto Shut permet de définir la puissance cible, la position cible et le temps de refroidissement lors du dépôt de couches d'épaisseurs diverses. ULVAC ENTRON EX W300 dispose de la technologie PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) la plus récente, fournissant des dépôts à haute densité, point pin-point. Enfin, Entron EX W300 offre la surveillance logicielle la plus récente et la surveillance diagnostique pour assurer le bon fonctionnement, ainsi que la plus haute qualité de dépôt de couches minces.
Il n'y a pas encore de critiques