Occasion ULVAC MLX-3000N #9156850 à vendre en France

ULVAC MLX-3000N
ID: 9156850
Sputtering system 1998 vintage.
ULVAC MLX-3000N est un équipement de pulvérisation haute performance capable de produire des films minces de haute qualité pour de nombreuses utilisations différentes. Le système a une construction multi-chambres, avec une chambre principale hexagonale, une chambre latérale, et une chambre inférieure, offrant une flexibilité maximale. Il offre une variété de sources de pulvérisation, telles que la cathode circulaire et rectangulaire, la source double magnétron, et la source déséquilibrée magnétron. Il utilise des fonctionnalités avancées, telles que l'alimentation avancée à bord de l'ICRF, plusieurs options de surveillance du plasma et le contrôle des processus en boucle fermée. MLX-3000N est une unité entièrement programmable avec vitesse de dépôt réglable, intensité de bombardement ionique et contrôle de la largeur, permettant un contrôle de pression précis et une qualité de film supérieure. La machine comprend également un spectromètre d'émission optique pour la surveillance et le contrôle des processus en temps réel. ULVAC MLX-3000N est capable de produire une variété de couches minces, y compris des métaux, des diélectriques, des oxydes et des nitrures. L'outil est conçu pour traiter à la fois les procédés de pulvérisation à basse pression et à haute pression réactive, permettant une large gamme d'applications. Il est également entièrement compatible avec la série ULVAC EXA900 de systèmes de dépôt PVD, permettant un transfert rapide des processus vers l'actif. Le poste de recuit intégré permet des dépôts de films métalliques très minces, tandis que les composants de refroidissement contribuent à maintenir l'homogénéité du film. Enfin, MLX-3000N utilise une variété de logiciels qui permettent aux utilisateurs de contrôler l'ensemble du modèle à partir d'une seule interface. Le logiciel est entièrement compatible avec l'alimentation ULVAC ICRF et l'utilisation du programme GLASS accélère le temps de développement et de mise en service de processus complexes. Le logiciel ULVAC Sputter Process Monitor (SPM) fournit également aux utilisateurs un contrôle complet sur l'ensemble du processus de dépôt afin de maximiser la fiabilité du processus. En conclusion, ULVAC MLX-3000N est un équipement de pulvérisation haute performance qui offre une large gamme de fonctionnalités et de capacités pour répondre aux exigences souhaitées pour une variété d'applications. La construction multi-chambres, les fonctionnalités de bord avancées, la programmabilité et la compatibilité logicielle du système en font un choix idéal pour le dépôt de couches minces de haute précision.
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