Occasion ULVAC MLX-3000N #9279394 à vendre en France
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ID: 9279394
Style Vintage: 2000
Sputtering system
Multi chamber type (C to C)
Substrate size, 6" Diameter
(2) Cassette-chambers
(2) Sputter chambers
(1) Etching chamber
Vacuum pump:
Cryo pump
Dry pump
Sputter source: Cathode 12" diameter
DC power source
Process gas: Ar
2000 vintage.
ULVAC MLX-3000N est un équipement de pulvérisation à haute performance conçu pour diverses applications. Il utilise un procédé de pulvérisation en ligne ciblé pour déposer des films précis et uniformes sur des substrats. MLX-3000N offre des capacités de dosage ionique précises pour contrôler l'épaisseur du film et la stoechiométrie, ainsi qu'une grande uniformité et reproductibilité du film. Le système utilise quatre alimentations électriques qui sont réglables dans 0.01V les augmentations, la fréquence de pouls réglable et la gamme de courant d'ion réglable de 100nA à 1mA. L'unité dispose également d'une plate-forme logicielle facile à utiliser qui permet à l'utilisateur de personnaliser les paramètres en fonction des besoins spécifiques de dépôt. La machine à pulvériser contient une double cible à 360 °, une chambre à quatre colonnes et une plage de pression standard de 0,004-2,8 Pa (30 mTorr-400 mTorr) température de fonctionnement jusqu'à 100 ° C Il est équipé d'un mécanisme d'imagerie numérique haute définition et d'une technologie de traitement vidéo avancée pour une meilleure vue sur la surface du substrat. ULVAC MLX-3000N supporte la pulvérisation continue et pulsée ainsi que la pulvérisation réactive/ion HI. Il est également capable d'effectuer une pulvérisation à l'arc pour des procédés de pulvérisation hautement réactifs. L'outil offre un certain nombre de caractéristiques, telles que la commande automatique de la cible, le nettoyage dynamique de la chambre, le contrôle du chauffage du substrat, la protection de la cible, la synchronisation logicielle, le réglage automatisé de la tension du porte-substrat et l'entretien automatique de la chambre. Ces traits font l'idéal MLX-3000N pour un certain nombre d'applications en incluant la déposition de nitrides, oxydes, métaux et oxynitrides pour les étalages de comité plats, les batteries de film minces, les détecteurs, les couches optiques et d'autres besoins de couche électroniques différents. L'actif offre également un certain nombre de caractéristiques de sécurité. La chambre de processus et les aimants de support d'ULVAC MLX-3000N sont magnétiquement protégés contre les interférences EM, et le modèle contient divers capteurs de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr. En outre, MLX-3000N est équipé d'un équipement avancé de surveillance du vide qui surveille et affiche l'état du système de vide en temps réel. Cette unité met également en oeuvre une série d'autodiagnostics destinés à alerter l'opérateur lorsqu'il détecte des problèmes ou des dangers potentiels lors du traitement. Dans l'ensemble, ULVAC MLX-3000N est une excellente machine à pulvériser qui offre des résultats précis, reproductibles et uniformes pour une variété d'applications. Avec son interface facile à utiliser, ses caractéristiques de haute qualité et ses caractéristiques de sécurité, il est un choix idéal pour de nombreux besoins de dépôt.
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