Occasion ULVAC MLX-3000N #9280607 à vendre en France

ULVAC MLX-3000N est un équipement de pulvérisation magnétron emballé pour le dépôt précis des couches et la croissance des matériaux sur un large éventail de substrats. Le système peut être utilisé dans de nombreuses applications, telles que le dépôt en couches minces, les structures de dispositifs au niveau de la grille et les couches diélectriques. Sa conception robuste permet une précision de pointe de pulvérisation et une épaisseur de film uniforme. MLX-3000N est équipé d'un outil de pulvérisation à vide à simple magnétron de 13,56 MHz, capable de produire des taux de dépôt élevés et des dépôts de pulvérisation uniformes. L'unité est équipée d'une source d'alimentation ULVAC avancée, une machine d'alimentation maître-esclave intégrée, permettant un contrôle fin des caractéristiques de la couche pulvérisée. La conception en architecture ouverte permet la compatibilité avec la plupart des composants de chambre, rendant l'outil très polyvalent. L'actif est conçu pour minimiser les fuites de gaz avec une grande flexibilité et configurabilité. Il dispose d'un quadrilatère à anneaux en acier inoxydable indiquant quatre structures d'anneaux d'étanchéité. Les joints réduisent les fuites de gaz et sont très configurables et faciles à remplacer pour un entretien rapide. ULVAC MLX-3000N utilise l'unité d'interface numérique sous vide (VDIU) pour le contrôle et la surveillance qui répond à toutes les normes de sécurité industrielle. La grande chambre de serrure de l'échantillon, orientée horizontalement, utilise un étage d'échantillon semiconducteur unique pour la manutention et le transfert de l'échantillon. Son refroidisseur à quatre étages permet de refroidir les échantillons et les substrats à une température inférieure à la température ambiante. La suite logicielle avancée du modèle permet aux utilisateurs de mettre en place rapidement des processus de pulvérisation prédictive de haute précision. MLX-3000N fonctionne dans les deux modes UHV et Low Vacuum (LV), permettant un contrôle très élevé dans les conditions de processus et permettant des substrats complexes avec des rapports d'aspect élevés. Son générateur de plasma intégré est contrôlé en température, permettant des démarrages rapides sans gaz azoté pour le reconditionnement. Toutes ces caractéristiques permettent un dépôt fiable des pulvérisateurs dans un large éventail d'applications. Dans l'ensemble, ULVAC MLX-3000N est un équipement de pulvérisation fiable parfait pour un dépôt de couche précis. Très configurable et facile à utiliser, ce système offre une précision robuste au point de pulvérisation. C'est un outil idéal pour des applications allant du dépôt en couches minces aux structures de dispositifs au niveau de la grille.