Occasion ULVAC MPS-4000-C4 #9279708 à vendre en France

ULVAC MPS-4000-C4 est un équipement de pulvérisation magnétron à quatre chambres. Le système se compose de quatre chambres de processus de SDC-S250 qui sont refroidites avec l'azote liquide. Les chambres sont toutes économes en espace et disposent d'une distance de substrat à magnétron (STM) inférieure à 28 pouces. Ceci permet une utilisation efficace des dépôts de forte puissance et profite des temps de dépôt raccourcis sans sacrifier l'uniformité sur une grande surface. La configuration à double source sur chaque chambre permet d'utiliser différents matériaux cibles pour différentes configurations structurelles. Les chambres sont équipées d'un réflecteur à faible diffusion thermique pour des taux de dépôt plus élevés, de dépôts à basse température de cibles en acier inoxydable, et d'un grand viseur. Ce système permet une pulvérisation homogène et homogène avec des taux d'ionisation élevés, des conditions plasmatiques stables et une vitesse de dépôt uniforme. La machine est également équipée d'une alimentation multi-anode et de matériel de contrôle principal. MPS-4000-C4 est fourni avec un processus entièrement automatisé recettes d'ULVAC qui vous permet de configurer et d'optimiser les recettes de dépôt sur un logiciel de contrôle convivial. Cet outil dispose également d'un échangeur automatique de cibles, permettant d'utiliser plusieurs applications cibles dans un seul actif. Le modèle est conçu pour des échantillons de très grande taille jusqu'à 600 mm de diamètre et peut déposer des films plus épais d'une grande variété de matériaux, y compris des métaux, des oxydes et des nitrures. Le principal avantage de cet équipement est sa capacité à déposer des films à partir d'une plage de température plus basse avec une haute qualité et uniformité. Le procédé de pulvérisation à basse température aide à réduire le coût du procédé et à minimiser la contamination. Le système dispose également d'un mode d'autorégulation et de capteurs qui surveillent l'atmosphère dans la chambre pour réduire la contamination. L'unité ULVAC MPS-4000-C4 est idéale pour la production à grande échelle de substrats en verre enduit optique et électronique de haute qualité et est parfaite pour une large gamme d'applications allant des écrans plats aux produits de cellules solaires. La machine est idéale pour la recherche et le développement, la production à l'échelle de l'industrie et pour les applications de revêtement spécialisées.