Occasion ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847 à vendre en France

ULVAC MPS-5000-HC6 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour des applications de dépôt en couches minces de haute qualité. Le système est composé d'une source de pulvérisation plane monocellulaire de 8 pouces améliorée magnétiquement, d'un porte-substrat de 8 pouces, d'une chambre à vide, d'un module de spectromètre optique d'émission (OES) et d'un logiciel dédié. La source de pulvérisation est équipée d'un canon à électrons à très basse tension et à faible EMI, ainsi que d'une cible à magnétron multiple et à haute capacité pour améliorer l'uniformité et la stabilité de la pulvérisation. Le porte-substrat est commandé par un micropositionneur avec un procédé breveté de neutralisation des charges électrostatiques, qui assure un positionnement précis du substrat et une uniformité de revêtement. La chambre de MPS-5000-HC6 est équipée d'une unité d'injection de gaz pour l'introduction de gaz réactifs, ainsi que d'une unité d'échappement avec deux lames mobiles et deux boucliers fixes pour protéger l'intérieur de la chambre contre la contamination. Le module OES est intégré dans la chambre et permet une surveillance en temps réel et des paramètres de contrôle automatique lors du dépôt des pulvérisateurs. Le logiciel dédié simplifie et automatise les opérations de pulvérisation avec diverses recettes et réglages de paramètres, et dispose d'une machine de chargement/déchargement d'échantillons entièrement automatisée. De plus, il permet de stocker des recettes de pulvérisation et de vérifier l'état de la chambre. ULVAC MPS-5000-HC6 est une option attrayante pour ceux qui recherchent un outil de pulvérisation fiable et efficace pour le dépôt de films de haute qualité.