Occasion ULVAC MPS-6000-C1S300 #9313940 à vendre en France

ULVAC MPS-6000-C1S300 est un équipement de pulvérisation plasma réactif puissant mais simple à utiliser. Ce système est conçu pour créer des couches minces de matériaux métalliques, diélectriques et autres sur des plaquettes semi-conductrices. L'unité se compose de trois composants principaux : une chambre d'évacuation, une chambre d'éduction et une chambre de pulvérisation. La chambre d'évacuation est utilisée pour évacuer l'air et d'autres contaminants autour de la chambre de pulvérisation. Pour ce faire, on utilise une pompe à traînée turbomoléculaire multi-étages, qui utilise des pales tournantes à grande vitesse pour aspirer de l'air hors de la chambre et améliorer la propreté de la chambre. La chambre d'éduction est chargée d'introduire de faibles quantités de gaz réactifs dans la chambre de pulvérisation. Pour ce faire, on utilise une machine de chauffage résistif à haute température qui sert à vaporiser les gaz réactifs à grande vitesse. Enfin, la chambre de pulvérisation est commandée par une unité de pulvérisation magnétron embarquée. Cette unité de pulvérisation crée un arc électrique entre les matériaux cibles et un arc plasma généré à partir de la cathode. On crée ainsi un plasma contrôlé qui enrobe ensuite les plaquettes de couches minces des matériaux cibles. L'outil est capable de créer des films contenant différents matériaux tels que métaux, diélectriques, céramiques et polymères sur des substrats de formes et de tailles variées. De plus, l'actif présente plusieurs caractéristiques de sécurité, comme un modèle de détection des fuites qui détectera et stoppera les fuites de gaz afin de protéger les opérateurs contre les gaz dangereux. Dans l'ensemble, MPS-6000-C1S300 est un outil idéal pour créer des films minces de divers matériaux sur des substrats de différentes formes et tailles. Les caractéristiques uniques de conception et de sécurité de l'équipement en font un choix idéal pour toute application de film mince.