Occasion ULVAC PME-200 #9070529 à vendre en France

L'équipement de pulvérisation ULVAC PME-200 est un système de pulvérisation perfectionné très polyvalent conçu pour diverses applications de couches minces. L'unité a été conçue avec un cadre modulaire multi-configuration qui lui permet d'accueillir plusieurs processus PVD, y compris la pulvérisation thermique et réactive. La machine est livrée avec deux chambres de pulvérisation, chacune équipée d'un maximum de deux cathodes de pulvérisation magnétron. Chacune des chambres de pulvérisation peut accueillir jusqu'à quatre substrats, chaque substrat étant porté par un porte-substrat indépendant. La conception flexible de l'outil permet à l'utilisateur de changer rapidement et facilement le type de substrat, la composition cible et les paramètres de pulvérisation afin de répondre au mieux aux exigences de l'application. PME-200 est alimenté par une alimentation haute fréquence modulée en impulsions qui peut générer des impulsions haute fréquence avec des taux de répétition allant jusqu'à 3 kHz. Le contrôleur automatique PACMAN est conçu pour minimiser l'intervention de l'opérateur en fixant automatiquement les valeurs optimales pour les paramètres de pulvérisation et la température du substrat. Ceci permet un dépôt uniforme et répétable sur chaque substrat. Le pare-douche à ressort offre une uniformité de dépôt supérieure en protégeant toute la zone du substrat des particules chargées créées par pulvérisation. La conception du suscepteur permet le dépôt à haute densité de matériau cible, et jusqu'à cinq conduites de gaz rare peuvent être reliées à l'actif pour les processus réactifs de pulvérisation. ULVAC PME-200 dispose également d'une boucle de refroidissement robuste qui permet à la fois de contrôler la température et d'extraire les particules de la chambre, contribuant ainsi à maintenir un environnement de traitement propre. Enfin, PME-200 est livré avec une interface intuitive homme-machine qui permet aux utilisateurs de configurer facilement le processus de pulvérisation, stocker les configurations de configuration, et fournit un contrôle et une surveillance complets du modèle. L'équipement comprend également un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels qu'un système de fermeture de porte avec activation de la fermeture, la surveillance de la température et l'arrêt automatique en cas d'événements anormaux. Toutes ces fonctionnalités s'associent pour faire d'ULVAC PME-200 un outil puissant, flexible et fiable pour une large gamme d'applications en couches minces.