Occasion ULVAC PME-200 #9218797 à vendre en France
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ULVAC PME-200 est un équipement de pulvérisation versatile utilisé pour le dépôt de couches minces sur un large éventail de substrats. Ce système est populaire parmi les laboratoires de recherche pour le dépôt d'une variété de matériaux tels que les alliages, les métaux et les isolants avec des épaisseurs et une uniformité contrôlées. PME-200 se compose d'une chambre principale recouverte d'un boîtier d'équipement étanche à 3 couches et d'un mécanisme d'entraînement. Cette chambre principale est équipée de trois sources de pulvérisation qui peuvent être configurées soit en magnétron parallèle, soit en champ croisé. Il comporte également une structure de support de source et un ensemble cathodique de style adapté qui fonctionne comme la liaison entre les sources de pulvérisation et le porte-substrat. Le porte-substrat est responsable du support des substrats lors du dépôt et peut être configuré pour des substrats plats ou cylindriques. Il se compose d'un cadre de maintien, de chauffages et d'un anneau de focalisation. Les chauffages sont utilisés pour régler la température du substrat et l'anneau de focalisation fournit une zone réglable pour les sources de dépôt. Le contrôleur ULVAC PME-200 comprend un panneau tactile avec écran LCD, mémoire de sauvegarde, options de programmation et contrôle source. Ce contrôleur de source peut traiter jusqu'à cinq sources de dépôt avec une variété de gaz de pulvérisation. Cette unité dispose d'une machine de contrôle thermique sophistiquée avec une boucle de rétroaction PID qui permet une stabilité et une uniformité de température précises. Le contrôle de la température peut être contrôlé à l'aide de l'anneau de focalisation avec un choix d'argon, d'azote, d'hélium et d'autres gaz. PME-200 est équipé d'un outil de gestion des gaz d'échappement pour s'assurer que les particules sont retirées en toute sécurité. Cet actif dispose d'un orifice d'échappement pour une ventilation efficace. Il est également équipé d'un capteur de pression sous vide afin qu'il puisse mesurer avec précision la pression du processus de dépôt. ULVAC PME-200 est un modèle de dépôt polyvalent qui possède de multiples sources de pulvérisation et un équipement sophistiqué de contrôle thermique. Ce système permet de déposer une variété de matériaux d'épaisseur contrôlée et d'uniformité sur des substrats plats et cylindriques. L'unité avancée de contrôle thermique et de gestion des gaz d'échappement assure un processus sûr et efficace avec une grande variété de gaz.
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