Occasion ULVAC SBH-2206 #9053709 à vendre en France

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ULVAC SBH-2206
Vendu
ID: 9053709
Sputtering system.
ULVAC SBH-2206 est un équipement de pulvérisation magnétron focalisé sur les ions conçu pour le dépôt continu de films minces par pulvérisation. Ce système fournit un procédé de dépôt physique en phase vapeur (PVD) assisté par plasma qui utilise un faisceau d'ions pour focaliser et orienter les matériaux comme revêtement sur un substrat. Le procédé produit des films uniformes qui sont très durables et chimiquement inertes. SBH-2206 se compose d'une cathode haute densité, refroidie activement, montée magnétron en permanence, d'une chambre de fabrication et d'un réseau de sources d'ions. La chambre contient plusieurs supports de substrat pour permettre un dépôt efficace sur une grande surface. Le support de substrat contient des chauffages et des ailettes de refroidissement pour assurer une température uniforme du substrat et une qualité de film constante. L'unité de vide est conçue pour maintenir une pression de processus inférieure à 10-4 Pa, fournissant un environnement de pulvérisation stable. La machine est équipée d'un magnétron qui contient un fort aimant permanent qui crée un puissant champ magnétique à travers la surface de la cathode et du substrat. Ce champ magnétique limite et accélère les particules gazeuses chargées énergétiques, ce qui conduit à une pulvérisation efficace du matériau cathodique. ULVAC SBH-2206 dispose d'une source d'ions haute performance avec des niveaux de tension et de courant réglables, permettant le dépôt de couches minces de haute qualité. L'outil a également une fonction en mode rafale pour fournir des taux de dépôt plus élevés et une uniformité accrue du film. Cette fonctionnalité utilise de courtes rafales de fonctionnement ; alors que le magnétron est désactivé, la progression du dépôt se situe dans la plage acceptable. L'actif est adapté à une variété de matériaux, tels que les métaux, les oxydes, les nitrures et le carbone. Il peut également être utilisé pour déposer des films multicouches avec une grande précision et des revêtements sans contrainte. SBH-2206 est un modèle fiable et polyvalent avec une excellente qualité de film et un dépôt uniforme sur la zone de travail. Il peut être utilisé pour produire des films minces pour diverses applications, y compris les dispositifs semi-conducteurs, l'électronique, l'optique, le stockage d'énergie, le médical et l'aérospatiale.
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