Occasion ULVAC SBH-2306 #9156856 à vendre en France

ULVAC SBH-2306 est un équipement de pulvérisation thermique conçu pour le dépôt de couches minces sur des substrats. Il est idéal pour la création de structures fines avec une homogénéité supérieure. Le système comprend un pistolet rotatif pulvérisateur, une chambre à vide et une table élévatrice rotative. Le pistolet pulvérisateur est conçu pour la pulvérisation à la fois réactive et non réactive. Il utilise trois modes de canon pour répondre à divers besoins de pulvérisation. Ceux-ci comprennent la puissance modulée, la fréquence radio (RF) modulée, et la pulvérisation magnétron continue. Le canon est équipé d'une gamme de cibles pour couvrir une large gamme de matériaux à pulvériser. La chambre à vide est pompée mécaniquement et complétée par une pompe à rugosité à aubes rotatives. Il dispose également d'une turbomachine séparée pour les opérations à vide élevé. Les systèmes d'échappement et d'évacuation des gaz sont intégrés pour faciliter les opérations liées au processus. La table de levage rotative est apte à la rotation des substrats dans et hors de la voie de pulvérisation et sert également à économiser l'espace du substrat. SBH-2306 offre un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires, y compris le contrôle de la température du substrat, la jauge de vide numérique, la surveillance du processus en boucle fermée et une unité automatisée de nettoyage et de conditionnement de la décharge. La taille globale de la machine est petite avec une empreinte de 89 « de longueur et 30 » de largeur. Cet outil offre d'excellentes performances avec des résultats reproductibles. Il est bien adapté pour les applications de couches minces telles que le revêtement ITO, le revêtement SiO/SiN et le dépôt de couches PECVD pour les OLED, et les systèmes multicouches métal/isolant. ULVAC SBH-2306 offre une excellente capacité à créer des fonctionnalités fines tout en conservant une homogénéité supérieure.