Occasion ULVAC SH-350EL-C06 #9078346 à vendre en France

ULVAC SH-350EL-C06 est un équipement de pulvérisation conçu et fabriqué par ULVAC Inc. C'est un système multichambres qui peut être utilisé pour déposer des couches minces sur des substrats en une seule étape. Il est adapté au traitement à l'échelle industrielle par lots et supporte une gamme de procédés tels que la pulvérisation réactive, la pulvérisation magnétron réactive à courant continu, la gravure ionique réactive et le dépôt de faisceau d'ions. SH-350EL-C06 comprend une chambre principale évacuée avec une unité de transfert manuel, une chambre de procédé, un porte-substrat/refroidisseur et un casier de chargement. La chambre principale dispose d'un manomètre, de panneaux refroidis à l'eau et d'une variété d'orifices tels que des orifices de verrouillage de charge et des papillons qui permettent une variété de chambres de processus connectées. La chambre de procédé est équipée d'un maximum de quatre cibles selon le matériau déposé, d'une pompe à vide reliée au fond de la chambre et d'une tête de douche en quartz recouvrant le toit de la chambre pour assurer un dépôt uniforme. La chambre peut fonctionner avec une source alimentée en courant continu ou en RF. Le porte-substrat/refroidisseur est conçu pour loger jusqu'à deux substrats dont les spécifications sont réglables. Le support peut accueillir des substrats jusqu'à 700 x 700 mm, et est équipé de capteurs de température pour surveiller et maintenir la température du substrat entre 10 et 40 degrés Celsius. De plus, le porte-substrat a une base de disque tournante et est équipé d'un suscepteur sans contact et d'un mécanisme de « rotation inclinée » dans le plan si un angle incliné ou un angle de rotation est requis lors du dépôt. Enfin, le casier de chargement est conçu avec une grille ouverte avant, permettant de charger et d'enlever les substrats sans interrompre le processus. Il est équipé d'une doublure en quartz ou en alumine pour s'assurer que la douceur du substrat ne change pas. De plus, la chambre de serrure est capable de recevoir jusqu'à quatre charges simultanément avec des joints à quartz qui fournissent un environnement sans oxygène afin d'éviter l'oxydation ou les réactions avec les gaz atmosphériques résiduels. En résumé, l'unité de pulvérisation thermique multichambre ULVAC SH-350EL-C06 est parfaitement adaptée au traitement industriel par lots et offre une gamme d'options qui permettent une variété de procédés de dépôt. Il est facile à utiliser grâce à son design intuitif et ses caractéristiques, et efficace grâce à sa machine fermée. C'est un excellent choix pour le dépôt de couches minces pour ceux qui ont besoin d'un outil de pulvérisation robuste et fiable.