Occasion ULVAC SH-450-T10 #9156843 à vendre en France

ULVAC SH-450-T10 est un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu de haute puissance conçu pour le dépôt de matériaux de film dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'un seul axe et d'une alimentation par substrat de polarisation RF. SH-450-T10 a un design compact qui permet une installation et une utilisation faciles. Le système utilise un magnétron RF de forte puissance qui peut fournir jusqu'à 450 W de puissance continue pour le dépôt de film. La source de pulvérisation magnétron RF est réglable et dispose de deux modes de fonctionnement indépendants : le mode linéaire et le mode full burst. En mode de fonctionnement linéaire, ULVAC SH-450-T10 peut fonctionner à des niveaux de puissance optimisés plus bas pour une épaisseur de film uniforme et des performances répétables. En mode plein éclatement, l'unité peut obtenir des taux de dépôt plus élevés pour les dépôts de plus grande surface. La machine dispose également d'un outil de suppression d'arc en mode impulsionnel, qui réduit l'arc associé à un fonctionnement à forte puissance et un avantage de refroidissement du substrat amélioré. SH-450-T10 dispose d'une source de biais RF qui permet de réduire les taux de pulvérisation et d'améliorer l'adhérence du film. La puissance de polarisation RF a un contrôle indépendant allant jusqu'à 400 Watts, offrant un excellent contrôle du flux ionique pendant le processus de pulvérisation. De plus, la modulation de puissance RF peut être utilisée pour maximiser l'uniformité des dépôts sur l'ensemble de la cible. Le modèle comprend un équipement de gestion des données sécurisé, capable de stocker toutes les données sur les plaquettes entrantes, y compris le taux de dépôt, l'épaisseur et le temps de cycle. Ces données sont stockées en toute sécurité, ce qui permet au personnel autorisé d'accéder aux paramètres des plaquettes individuelles et de les ajuster. Le système comprend également une unité de commande centrale entièrement automatisée avec des recettes prédéfinies. ULVAC SH-450-T10 magnétron pulvérisateur est un outil de pulvérisation à courant continu de grande puissance qui fournit d'excellentes caractéristiques de dépôt de film. Le magnétron RF réglable, la source de polarisation RF et l'actif de contrôle central automatisé offrent une excellente précision et reproductibilité, tandis que le modèle de gestion des données permet un stockage et une récupération sécurisés des données. L'équipement offre une excellente performance et répétabilité pour une production à haut volume.