Occasion ULVAC SIH-3030 #9067203 à vendre en France

ULVAC SIH-3030 est un équipement de pulvérisation magnétron utilisé pour diverses techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est conçu pour une précision de position supérieure, une excellente uniformité et une stabilité accrue dans les processus à cible unique et multiple. La conception tout-en-un de SIH-3030 système de pulvérisation comprend un loadlock standard et un bateau-échantillon adjacent qui est entièrement intégré dans la chambre. La grande chambre offre une longueur axiale généreuse de 349 mm et deux portes d'articulation en option pour un accès facile. Son unité de pompage turbo-moléculaire réglable, à cycle fermé et à fréquence variable assure une pression de base minimale de 1,6x10-4 Pa dans les chambres de pulvérisation. ULVAC SIH-3030 est capable d'utiliser jusqu'à trois sources de pulvérisation simultanément et peut supporter une opération continue de chargement cathodique pour une application à long terme. SIH-3030 machine de pulvérisation a une large gamme de paramètres de fonctionnement réglables pour maximiser la vitesse de dépôt et l'uniformité. Ces paramètres comprennent le contrôle de la température de 0 à 400 ° C, la distance source-substrat réglable et la possibilité de choisir entre une alimentation fixe en courant continu ou un biais de substrat alternatif pour améliorer l'adhérence et la texturation de surface. L'outil comprend également un écran électrostatique programmable pour optimiser les niveaux de bombardement ionique pour une meilleure uniformité du film. Pour une meilleure manipulation du substrat, l'actif est livré de série avec une ligne de refroidissement du substrat et une ligne de chauffage du substrat réglable en option pour une meilleure désorption des matériaux. Le modèle de sécurité avancé ULVAC SIH-3030 peut être utilisé pour surveiller les conditions de la chambre et protéger les composants contre les surtensions de puissance potentielles. De plus, le contrôleur tactile de l'équipement assure un fonctionnement simple et un temps de production rapide. SIH-3030 système de pulvérisation est idéal pour l'utilisation dans la recherche et la production de films pour les industries des semi-conducteurs, de l'aérospatiale, de l'automobile et de l'affichage à panneaux plats. Ses fonctionnalités avancées et ses performances fiables en font un excellent choix pour une variété d'applications PVD.