Occasion ULVAC SIH-450 #9313935 à vendre en France

ULVAC SIH-450 est un équipement de pulvérisation thermique haut de gamme conçu et fabriqué par ULVAC pour un large éventail d'applications. Ce système est conçu pour assurer un traitement fiable et cohérent des pulvérisations dans les applications de dépôt sous vide les plus difficiles. SIH-450 est une solution à source unique pour les pulvérisations réactives et inertes, ainsi que pour les dépôts magnétron. ULVAC SIH-450 a une surface utilisable de 800 mm x 600 mm et est également livré avec un évier intégré qui permet un refroidissement cohérent des plaquettes dans les processus de dépôt et de post-dépôt. Avec une uniformité de température de +/- 0,5 ° C, cette unité assure que les procédés sont optimisés en température et en pression pour assurer un dépôt de pulvérisateurs très uniforme. La machine est équipée avec le contrôle de pouvoir indépendant pour chaque cible et 12 kW maximums de pouvoir de courant continu. Il dispose également d'une source d'ions qui peut fournir un nettoyage précis des ions et aider au processus de pulvérisation. En outre, SIH-450 est équipé d'une pompe turbo moléculaire robuste et fiable, joignant ULVAC All-MFC (Monitoring Flow Control) Contrôle constant du dépôt de pulvérisateurs pour garantir un contrôle précis du débit molaire. L'outil fournit une large gamme de paramètres de chambre réglables tels que le niveau de vide, la pression de processus, la température, et le temps, qui sont tous extrêmement faciles à contrôler et à surveiller. Cet atout est également équipé d'une interface intuitive d'écran tactile qui peut être utilisé pour contrôler le fonctionnement sooth, fournir des données de processus en temps réel, et permettre l'accès à distance. L'ULVAC SIH-450 peut couvrir un large éventail de procédés tels que le PVD et le CVD, allant du dépôt en couches minces au dépôt en couches épaisses, ainsi que la pulvérisation de Si, Si-Ge, Si-C et d'autres substrats. Avec ses excellentes performances de contrôle, son fonctionnement simple et ses faibles coûts d'exploitation, SIH-450 est un moyen fiable et rentable d'améliorer les rendements des processus et de réduire les temps de cycle.