Occasion ULVAC SIH-4545 #9050844 à vendre en France

ULVAC SIH-4545 est un équipement de pulvérisation perfectionné utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il a été conçu pour assurer un dépôt uniforme et précis de couches minces sur des substrats, avec une grande précision et répétabilité. Le système peut également être utilisé pour le dépôt en couches minces pour des structures complexes, telles que des interconnexions et des résistances à oxyde métallique. SIH-4545 unité se compose de quatre sources de pulvérisation indépendantes et d'une chambre de verrouillage de charge. Les sources, alimentées chacune par 2800W magnétrons, sont montées sur le côté avant de la machine. Cela permet une pulvérisation régulière et uniforme du matériau cible de choix, et présente une large gamme de gaz de procédé, y compris l'argon, l'azote et l'oxygène. Un obturateur répétable à haute résolution est inclus pour un contrôle précis du processus de pulvérisation plasmatique. La chambre de serrure est conçue pour le chargement rapide des échantillons et fournit une analyse automatisée des échantillons et des prétraitements de surface des échantillons (comme le nettoyage activé par plasma et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Cette fonctionnalité améliore encore la polyvalence de l'actif. ULVAC SIH-4545 a un certain nombre d'autres fonctionnalités conçues pour améliorer la productivité. Par exemple, il peut atteindre des taux de dépôt élevés allant jusqu'à 2000 nm/min. Selon le matériau, il peut également atteindre une grande homogénéité sur de grandes surfaces supérieures à 90 %. Son uniformité moyenne de dépôt est comprise entre 1 et 2 %, et le modèle est également conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes pour les couches minces sans défaut. L'équipement est conçu pour répondre aux normes de sécurité et est robuste et fiable avec une durée de vie de plus de 30 000 heures. Il est également livré avec un système de réfrigération intégré et une unité de recyclage de l'eau à faible entretien. Enfin, ULVAC propose une large gamme d'accessoires, tels que des outils de mesure, des systèmes d'automatisation de processus et un module de moniteur de film évolutif. En résumé, SIH-4545 est une machine à pulvériser polyvalente, fiable et puissante. Sa large gamme de caractéristiques permet un dépôt en couches minces de haute qualité et précis sur de grands substrats. Il est conçu pour être convivial et offre des performances et une fiabilité élevées pour une large gamme d'applications de fabrication de dispositifs microélectroniques.