Occasion ULVAC SIV-200S #9162025 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9162025
Sputtering systems
(6) Substrate holders, 4"
MFC:
Ar 200 sccm
O2 2 sccm
H2O 5 sccm
Pumping system:
ULVAC U-8H Cryo pump
ER400 Dry pump
2010 vintage.
ULVAC SIV-200S est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour déposer des couches minces de matière sur des substrats pour diverses applications. Ce système utilise la pulvérisation radiofréquence (RF) pour vaporiser un matériau cible et déposer le matériau vaporisé sur un substrat de manière uniforme. À bord SIV-200S sont deux magnetrons planaires, chacun inventant une moitié de l'unité. La conception de la machine permet un fonctionnement à double cible, permettant de déposer deux matériaux différents sur un substrat avec une seule course, ce qui réduit le temps et le coût de fabrication. De plus, l'outil dispose d'une chambre de dégazage automatique pour le nettoyage de la chambre qui permet également de maximiser l'uniformité de dépôt. L'actif est équipé d'une pompe à vide de grande capacité qui peut atteindre une pression de 1,3 x 10-3 Pa et fonctionner en mode de traitement continu ou par lots. Ceci est particulièrement important pour certains films car un substrat basse pression est nécessaire pour réaliser des films minces de haute qualité. ULVAC SIV-200S dispose également d'un régulateur de température précis ; la chambre et le porte-substrat sont commandés individuellement par deux régulateurs de température indépendants refroidis par air, ce qui permet le dépôt précis et uniforme de la fenêtre de température appropriée pour éliminer la création de défauts dans le film déposé. Des couches minces de haute qualité peuvent être déposées avec précision et rapidité avec SIV-200S grâce à son modèle uniforme d'épaisseur de film qui maintient le substrat et la cible à un intervalle constant quelle que soit l'épaisseur du matériau cible ou la distance par rapport au substrat. Ceci assure un dépôt uniforme sur l'ensemble du substrat. En outre, un balayage PCR rapide et un moniteur d'épaisseur de film viennent de norme sur l'équipement. ULVAC SIV-200S est un système de pulvérisation puissant et fiable qui peut fournir la précision et la précision nécessaires pour des films minces plus fins et plus uniformes. Avec sa puissante pompe à vide, son unité double magnétron, un contrôle précis de la température, une machine à épaisseur de film uniforme et la capacité de déposer deux fabricants différents en une seule fois, SIV-200S est un excellent choix pour le dépôt d'une variété de couches minces.
Il n'y a pas encore de critiques