Occasion ULVAC SIV-500 #9382251 à vendre en France
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ULVAC SIV-500 est un équipement de pulvérisation qui est utilisé pour créer un film mince à la surface d'un substrat, tel qu'une puce informatique. Ce système de pulvérisation utilise un gaz raréfié, typiquement de l'argon, comme source de dépôt de matière sur le substrat. En utilisant la haute tension, les ions argon sont accélérés vers la surface du substrat, en arrachant et en déposant du matériau de la couche supérieure du substrat. Ce procédé permet de créer deux plaques planes reliées par un film mince, ce qui est avantageux pour la création de puces informatiques. SIV-500 dispose d'une chambre à vide de 500mm par 420 mm avec un volume interne d'environ 850 litres. Il est équipé d'un total de quatre sources de pulvérisation (trois magnétrons et un plan continu) qui peuvent être déplacées autour du substrat sur un étage XYZ. Il a la capacité de pulvérisation à basse température et de polarisation, ce qui lui permet de produire des densités différentes des films sur la surface du substrat. L'unité est également livrée avec un logiciel de visualisation et de visualisation pour surveiller le processus de pulvérisation. ULVAC SIV-500 est également équipé d'un module de verrouillage et de déchargement pour le chargement et le déchargement de substrats d'un diamètre pouvant atteindre 8 pouces. Il peut manipuler des cassettes mouillées jusqu'à 5 kg de poids et peut charger jusqu'à trois substrats en même temps. Il est livré avec un refroidisseur de substrat intégré pour abaisser la température du substrat et il y a également une caméra de vue orthogonale pour vérifier le processus de dépôt en temps réel. SIV-500 est capable de réaliser des films minces entre 10 nanomètres jusqu'à quelques microns d'épaisseur. ULVAC SIV-500 est une machine idéale pour un processus de pulvérisation efficace. Il peut gérer une large gamme de substrats ce qui le rend idéal pour diverses applications dans les industries des semi-conducteurs, LED et d'affichage. Il possède des fonctionnalités avancées telles que l'outil charge-lock/déchargement-lock qui fournit un débit élevé ainsi que les capacités de surveillance des processus en temps réel qui garantissent que chaque processus de dépôt fonctionne à son maximum optimal. Toutes ces caractéristiques, ainsi que la conception modulaire de SIV-500, en font l'atout idéal pour pulvériser des films minces.
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