Occasion ULVAC SIV-850 #9050843 à vendre en France
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ID: 9050843
Style Vintage: 2006
Vertical inline sputtering system
Includes:
Sputtering method: RF Sputtering side moving deposition
Process: Exhaust operation, film-forming operation
Exhaust system: Turbo molecular dry pump
Process Gas: Ar, O2
Substrate: 850 mm x 1250 mm (max. effective)
No return system
2006 vintage.
ULVAC SIV-850 est un équipement de pulvérisation PVD (Physical Vapor Deposition) conçu pour des applications industrielles. Le système est basé sur la technologie ULVAC unique de pulvérisation magnétron et est capable de produire des films minces de métaux, d'oxydes et d'autres matériaux sur une large gamme de substrats. La conception avancée de l'unité est optimisée pour la performance et la simplicité avec une empreinte compacte et un faible coût de possession. SIV-850 offre un contrôle automatisé des paramètres du processus, y compris la température, la pression, la puissance RF et la densité de puissance. La machine utilise plusieurs sources de pulvérisation fonctionnant en mode continu, impulsionnel ou RF, ce qui permet une large gamme d'applications potentielles. L'outil est conçu pour être utilisé avec une variété de types de matériaux, y compris des cibles en métal pur et en alliage et des empilements complexes multicouches, lui donnant la flexibilité de répondre à une grande variété de besoins de dépôt en couches minces. L'actif est certifié pour les opérations en salle blanche, avec une gamme de caractéristiques de sécurité, y compris l'arrêt automatique si les paramètres de sécurité d'exploitation sont dépassés. Il est également conçu pour maintenir une température constante à l'intérieur de la chambre de dépôt, fournissant des résultats uniformes et reproductibles. Il offre également la possibilité de surveiller les paramètres de processus en temps réel via son interface utilisateur intégrée, permettant une optimisation facile des recettes de processus. La conception avancée du modèle garantit également que la vitesse de dépôt est très cohérente et répétable, tout en réduisant les dépôts de particules. On obtient ainsi des couches fiables de couches très minces, même lors du traitement de structures complexes à des taux de dépôt élevés. Par ailleurs, la technologie brevetée ULVAC « Direct Write » permet le dépôt par points, ne permettant de déposer du matériel que lorsqu'il est nécessaire. ULVAC SIV-850 est un excellent choix pour les applications industrielles de dépôt en couches minces, offrant une excellente performance, flexibilité et fiabilité. C'est aussi un équipement abordable, ce qui le rend attrayant pour les petits et les grands environnements de production.
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