Occasion ULVAC SMD-1800 #9384066 à vendre en France

ID: 9384066
Sputtering system Type: G6 Multi chamber cluster TFT Panel (107) Parts vacuum.
ULVAC SMD-1800 est un équipement de pulvérisation à haute performance qui est souvent utilisé dans la fabrication de dispositifs à couches minces. Il est conçu pour des applications industrielles dans lesquelles la qualité supérieure du revêtement des pulvérisateurs est critique. SMD-1800 utilise un procédé de pulvérisation RF de type diode pour le dépôt des pulvérisateurs à haute vitesse avec un bras robotique intégré à cinq axes. L'unité de pulvérisation est une configuration à double tête avec des sources magnétron externes et des alimentations individuelles en courant continu ou RF pour chaque source. L'unité offre une large gamme de matériaux collecteurs tels que l'aluminium, le titane, le cuivre et l'alliage. Le système a une structure intérieure flexible pour un entretien facile et la facilité d'entretien avec un réglage manuel facile de l'alignement des sources. La chambre de pression de pulvérisation réglable permet un contrôle précis de l'environnement de l'argon, ce qui la rend idéale pour des dépôts de pulvérisation structurés et uniformes sur des substrats planaires. La fréquence RF est réglable ce qui, en combinaison avec un champ magnétique axial appliqué extérieurement, permet une plus grande souplesse dans le dépôt des films. L'unité dispose également d'une plaque chauffante de substrat optionnelle pour faciliter une plus grande uniformité de dépôt, ainsi que de plusieurs outils de moniteur in situ pour un contrôle accru des procédés. ULVAC SMD-1800 est une machine entièrement automatisée avec contrôle de travail en temps réel et optimisation des processus GUI. Le bras robotique peut accueillir jusqu'à 6 « x6 » substrats et est capable de transférer à la fois des substrats modelés et non atterned vers et depuis l'environnement de pulvérisation. Cela le rend idéal pour des applications allant des dispositifs de stockage de données planaires, aux transistors à couches minces, et d'autres applications de dépôt de pulvérisateurs. L'outil global est un atout très efficace, offrant une excellente capacité et qualité de processus. Il est bien adapté pour le dépôt et le revêtement de couches minces à grande vitesse avec précision et précision. Il est également très sûr, avec plusieurs caractéristiques pour protéger contre les risques accidentels. Avec une excellente vitesse de pulvérisation, l'uniformité de l'épaisseur, et la stabilité du processus, SMD-1800 est sûr de vous donner les résultats que vous recherchez.
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