Occasion ULVAC SMD-1800X #9313943 à vendre en France
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ULVAC SMD-1800X est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces de haute qualité. Le système est composé d'une unité avancée de pulvérisation à mouvement contrôlé, d'une chambre ultra-haute dépression pour une évacuation efficace de la chambre, et d'une machine de traitement unique et sophistiquée qui comprend un outil intelligent de gestion des processus. L'actif de pulvérisation commandé en mouvement est capable de produire des couches minces réactives et non réactives. Il se compose de quatre sources de pulvérisation, qui peuvent pulvériser jusqu'à trois composés séparément ou simultanément. Il comprend également un disque à huit aimants, qui est monté sur la chambre cible pour un environnement de pulvérisation stable. Le disque aimant assure un dépôt de film uniforme sur le substrat et minimise les erreurs de dépôt. La chambre haute performance s'évacue rapidement et atteint des vides ultra-élevés en peu de temps. Il a une conception à chambre ouverte et comprend quatre fenêtres optiques pour surveiller et contrôler le processus de dépôt. En outre, il est équipé d'un modèle d'élévation multi-zones efficace pour les résistances de substrat. Ceci permet une élévation uniforme du substrat pour maintenir la température de chambre désirée. L'équipement de procédé multifonctionnel comprend un système de positionnement de substrat avancé et performant et un contrôleur de température de substrat de pointe. Il comprend également l'unité de gestion des processus intelligents (IPMS), qui est conçue pour une configuration facile des paramètres de processus et fournit un retour rapide sur la qualité du film déposé. La fonction « Vérification du processus » peut effectuer diverses vérifications tout au long du processus de dépôt, afin de fournir des informations sur l'exécution du processus de dépôt. En utilisant la technologie de pointe trouvée dans SMD-1800X machine, le dépôt de couches minces peut être réalisé avec une précision et une vitesse accrues tout en réduisant les coûts de processus. Avec son fonctionnement précis et efficace, l'outil fournit des conditions idéales pour la fabrication d'appareils électroniques de pointe et la recherche en couches minces.
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