Occasion ULVAC SMD-450 #9269728 à vendre en France
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ULVAC SMD-450 Sputtering Equipment est un système de dépôt de pulvérisation de haute précision qui est utilisé pour le dépôt de couches minces sur des échantillons pour diverses applications. L'unité se compose d'une machine multi-chambres qui offre une variété d'options de pulvérisation, y compris un outil de pulvérisation magnétron, évaporation de faisceau d'électrons, et un actif de dépôt de pulvérisation sans obturateur. Chaque chambre composant de SMD-450 Sputtering Model fonctionne indépendamment et utilise son propre contrôleur de processus avec une pression de fonctionnement allant jusqu'à 1,0 mTorr. La chambre de serrure est utilisée pour introduire des échantillons dans l'équipement, ainsi que pour effectuer des opérations de dégazage et de centrifugeuse de préparation d'échantillons si nécessaire. Le système peut également être utilisé pour traiter différents substrats, tels que le verre, le quartz et la céramique, ainsi que des matériaux cristallins, tels que Si, SiGe et Ge. La plage de taille de l'échantillon pour l'unité est de 5mm x 5mm à 200mm x 200mm. La machine de pulvérisation magnétron d'ULVAC SMD-450 peut être utilisée pour le dépôt de films de métaux tels que Al, Cu, Au, Ta, Ag et Ni. En utilisant les dernières technologies, l'outil est capable de produire des films minces de haute qualité avec une faible contrainte résiduelle et une excellente adhérence. En outre, SMD-450 est également équipé d'un actif de surveillance plasma in situ, permettant un contrôle précis du procédé et la mesure des propriétés des films déposés. La composante d'évaporation du faisceau d'électrons d'ULVAC SMD-450 utilise un canon à faisceau d'électrons monté sur le côté de la chambre de pulvérisation. Ce composant est idéal pour les applications d'évaporation, comme le dépôt de métaux spéciaux, le dépôt d'alliages et la formation de siliciures. Les sans obturateur bafouillent le modèle de déposition qui est intégré dans SMD-450 offersfast et temps d'exécution fiables en raison de sa capacité de déposer plusieurs couches de matière continuellement sans exiger shuttering mécanique de la chambre de processus. Enfin, ULVAC SMD-450 offre à l'utilisateur une large gamme d'options de contrôle de processus, y compris un équipement automatisé de contrôle de la température et un moniteur en temps réel pour la chambre d'échantillonnage qui fournit un temps précis de dépôt des pulvérisateurs, une uniformité et une couverture de surface uniforme. SMD-450 est un système de pulvérisation cathodique fiable et de haute précision qui peut fournir des résultats de dépôt précis et reproductibles pour un large éventail d'applications.
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