Occasion ULVAC SME-200 #9156855 à vendre en France
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ULVAC SME-200 est un équipement de pulvérisation magnétron. C'est un système avancé utilisé pour déposer des couches minces de matériaux spécifiques sur une surface. Il s'agit d'une unité automatisée qui permet le dépôt répétable de couches minces, avec des paramètres réglables permettant une large gamme de qualité de dépôt et de propriétés du film. La machine ULVAC SME 200 est composée d'une chambre à vide, de deux sources de pulvérisation indépendantes, d'une source de faisceau d'électrons, d'un enrobeur RF et d'une source de cible rotative. En utilisant la source applicable, un substrat dans la chambre est exposé soit à des particules de gaz ionisé d'une cible de pulvérisation, soit à des électrons, soit à des ondes radiofréquences. Les ions, électrons ou ondes radiofréquences de ces sources frappent et délogent des molécules de la cible, qui adhèrent alors au substrat, formant le film désiré. SME-200 outil peut manipuler deux substrats de tailles différentes, permettant une production plus efficace. Les deux sources de pulvérisation ont un budget de puissance de 2kW et sont équipées d'un magnétron focalisé pour obtenir une précision et une répétabilité plus élevées de la profondeur et de l'uniformité des pulvérisateurs. Le support de substrat peut supporter des plaquettes simples et double face avec différentes tailles/types de substrats dont le verre, le quartz, le silicium, l'aluminium et les métaux. La chambre dispose également d'un actif à pression variable, d'une turbo-pompe et d'une cryopump permettant de contrôler l'atmosphère et les niveaux de vide pour le dépôt, permettant un contrôle plus précis du processus de dépôt. La PME 200 est équipée de nombreux capteurs de modèles, permettant une surveillance en temps réel de tous les paramètres de processus et du débit de gaz. Le logiciel de l'équipement permet de manipuler à distance tous les paramètres pendant le dépôt et de contrôler complètement le processus de dépôt. Grâce à la conception avancée du système et aux paramètres réglables, l'unité peut être utilisée pour déposer une gamme de films de matériaux et de propriétés différentes, ce qui en fait une machine à pulvériser très polyvalente adaptée à diverses applications.
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