Occasion ULVAC SME-200 #9293517 à vendre en France

L'équipement de pulvérisation ULVAC SME-200 est conçu pour des applications de dépôt de couches minces à haute performance à un faible coût de possession de l'industrie. Il fournit un faible vide, un processus de pulvérisation rapide avec une excellente uniformité, répétabilité et contrôlabilité. ULVAC SME 200 est équipé de deux porte-cibles distincts, dont l'un est une cible de pulvérisation avec un PBN (Pyrolytic Bore Nitride) diélectrique. Cela permet au système de déposer à la fois des films métalliques et des films diélectriques. Le diélectrique a un rendement de pulvérisation extrêmement faible qui minimise le risque de pulvérisation de particules sur les couches précédentes de couches minces. De plus, les deux cibles peuvent être utilisées simultanément pour déposer des métaux et des diélectriques en une seule opération, ou alternativement pour augmenter la vitesse de dépôt. SME-200 dispose également d'une chambre de verrouillage de charge et d'un support de substrat chauffé pouvant contenir jusqu'à quatre échantillons de plaquettes de 4 pouces. Cela permet un chargement et un déchargement rapides des échantillons sous vide. Le chauffage a une plage de 0 ° C à 400 ° C, idéal pour le traitement thermique des plaquettes. L'unité dispose d'une capacité de taux de dépôt élevée avec un contrôle répétable du procédé de dépôt par recette. Il est également équipé d'un QMS-200 (Quality Monitoring Machine) qui surveille automatiquement les conditions cibles et fournit des fonctions de datalogage et de contrôle de la qualité. La PME 200 est un puissant outil de pulvérisation qui peut traiter un large éventail d'applications allant des couches protectrices et des couches barrières aux couches de planarisation. ULVAC propose également un certain nombre d'autres modèles d'actifs de pulvérisation dans la série PME pour diverses exigences de pulvérisation.