Occasion ULVAC SME-200E #9379717 à vendre en France

ULVAC SME-200E est un équipement de pulvérisation pour le dépôt de couches minces pour diverses applications, y compris le traitement des semi-conducteurs. Il utilise la pulvérisation par pulvérisation magnétique étendue (EME), une méthode qui combine l'électromagnétisme et la pulvérisation pour créer des films de revêtement sur des substrats rigides et flexibles. Le système de revêtement des pulvérisateurs est doté d'une technologie de pointe avec une grande uniformité de dépôt et une précision élevée pour la production de films de haute qualité. SME-200E a une configuration de cible linéaire à jet descendant fiable. Cela permet un fonctionnement précis de la cible avec gravure tridimensionnelle et la possibilité de pulvériser sous vide élevé. L'unité comprend un plan rotatif Est/Ouest, permettant un entretien facile et une meilleure compatibilité avec une large gamme de substrats. Sa machine de contrôle en boucle fermée offre une pulvérisation très régulière et uniforme pour les films minces jusqu'à 200mm de diamètre. L'outil comprend également un actif d'auto-chargement, d'auto-déchargement pour la manipulation et le transfert de substrat sans contact. Ceci assure un positionnement précis, avec d'excellents rendements de production. L'ULVAC SME-200E comprend à la fois un étage de rotation à deux axes, pour améliorer l'uniformité des dépôts, et un modèle tourelle-douche rotatif pour permettre un échange rapide et simple des matériaux cibles. La chambre de dépôt nouvellement créée préserve les conditions de cible et de substrat, permettant la mise en service de tout type de matériau de revêtement. Cet équipement de pulvérisation unique dispose également du logiciel exclusif Pack-Anime ULVAC pour le fonctionnement des processus, le contrôle des dépôts et la programmation des recettes. Le logiciel propose des outils de recette, de contrôle et d'analyse qui permettent un fonctionnement efficace et reproductible avec une uniformité de revêtement supérieure. L'interface conviviale garantit une productivité élevée avec un temps d'arrêt minimal pour la maintenance et les réglages. SME-200E système de pulvérisation est conçu pour la production polyvalente de films minces de haute qualité. Sa technologie supérieure et ses caractéristiques avancées assurent le dépôt reproductible, uniforme et précis d'une variété de revêtements pour dispositifs semi-conducteurs.