Occasion ULVAC SME-200E #9392582 à vendre en France
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ID: 9392582
Style Vintage: 2006
Sputtering system
Base plate: 200 mm
Dielectric module
High temperature film forming module
Precision distribution module
Etching module
LED
Memes
Power supply included
2006 vintage.
ULVAC SME-200E est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour des applications industrielles et de recherche avancées. Il dispose de sources de pulvérisation rotatives et réglables et de supports de substrat, offrant aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour réaliser un large éventail de processus de dépôt et de traitement de surface. SME-200E est capable de fournir des taux de dépôt propres, uniformes et élevés pour toute épaisseur de film. ULVAC SME-200E est configuré avec une source de pulvérisation magnétron de pointe. La puissance de la source de pulvérisation magnétron peut varier de 0 à 1000 watts, ce qui permet une large gamme de cibles et d'épaisseurs de film. Le support de substrat est réglable et peut accueillir des substrats jusqu'à 12 pouces de diamètre et 0,008 à 0,125 pouces d'épaisseur. Cela permet une variété d'applications, telles que les écrans plats, les dispositifs LSI et MEMS, les disques magnéto-optiques, les films supraconducteurs et les films optiques. SME-200E offre un contrôle de haute précision du processus de pulvérisation via une série de systèmes de contrôle. Le contrôleur interne permet aux utilisateurs de contrôler les électrodes, la puissance de pulvérisation, la vitesse de rotation et l'épaisseur du film. Le système de contrôle avancé d'ULVAC SME-200E permet également le dépôt de films complexes avec différents composants. L'unité est équipée d'un pyromètre optique, permettant aux utilisateurs de surveiller la température du porte-substrat. SME-200E est construit avec un bouclier électrostatique et une machine intégrée de distribution de gaz, permettant le dépôt de films dans une variété d'environnements, allant de l'ultra-vide à la pression atmosphérique. En outre, ULVAC SME-200E peut être relié à des dispositifs externes de mesure de la concentration de gaz tels que l'argon, l'oxygène et l'azote dans la chambre. SME-200E est conçu pour assurer la fiabilité et la répétabilité, ce qui en fait un choix idéal pour une variété de processus de production et de recherche. L'outil est capable de fournir des films uniformes avec peu de défauts et un rendement plus élevé. En outre, la conception modulaire de l'actif facilite l'expansion, la mise à niveau et le service du modèle, assurant ainsi une plus grande flexibilité et un meilleur rapport coût-efficacité.
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