Occasion ULVAC SME-200J #293597222 à vendre en France
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ID: 293597222
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
PM2: Platinum
PM3, PM5, PM6: BST
Type / PM2 / PM3 / PM3 / PM4 / PM5 / PM6 / LL / TO
Current target / PT18-0008 / NH18-4049 / - / NH18-4023 / NH18-4022 / - / -
Turbo controller / EI-D1003M / EI-V04M (2304) / EI-D303M / EI-V04M (2304) / EI-V04M (2304) / EI-D203M / EI-D1003M.
ULVAC SME-200J est un équipement de pulvérisation haute de gamme conçu pour être utilisé dans des industries telles que les semi-conducteurs, la micro-électronique, les supports et composants de disques durs, l'optoélectronique et les dispositifs optiques. Il s'agit d'un système de pulvérisation automatique doté d'une chambre de dépôt avancée, d'une chambre de verrouillage de charge efficace et d'un contrôle précis. ULVAC SME 200 J dispose d'une chambre de dépôt de forme rectangulaire efficace qui permet une répartition uniforme des particules et une meilleure précision du dépôt des matériaux. De ce fait, les pièces sont bien déposées avec une épaisseur de film cohérente et répétable. L'intérieur présente également une grande propreté, ce qui minimise la contamination et aide à produire des pièces avec un dépôt en phase vapeur précis. La chambre de serrure intégrée de SME-200J charge et décharge rapidement et précisément les pièces (6 « × 6 » ou 8 « × 8 »). La chambre a une pression réglable, jusqu'à cinq pas, permettant un chargement et un déchargement des pièces lisses et précis. De plus, la chambre est étanche aux gaz, évitant la contamination et les particules indésirables. La PME 200 J possède des fonctions de contrôle précises qui augmentent la stabilité du processus, y compris le contrôle en boucle fermée et la programmation à l'écran. Ceci permet également un contrôle précis de l'épaisseur des films déposés sur une plage de 150 Å-3500Å avec une précision de 1 Å. Les paramètres de dépôt peuvent également être programmés pour l'automatisation et la segmentation douce, améliorant encore la sophistication programmable. De plus, l'ULVAC SME-200J dispose de diverses installations de sécurité qui assurent la sécurité du personnel et de l'équipement. L'unité est équipée d'un capteur de pression, de dispositifs de protection d'urgence pour les opérations anormales, d'un couvercle à vide renforcé et de portes d'évacuation pré-vide. Cela offre un niveau élevé de protection de l'opérateur et permet une exploitation transparente et sûre, même dans des environnements difficiles. Dans l'ensemble, ULVAC SME 200 J est une machine à pulvériser tout-en-un conçue pour répondre aux applications les plus exigeantes dans des secteurs tels que les semi-conducteurs, la micro-électronique, les supports et composants de disques durs, l'optoélectronique et les dispositifs optiques. Il dispose d'une chambre de dépôt de haute précision et d'une chambre de verrouillage de charge efficace avec des caractéristiques de contrôle précises, assurant une grande précision de dépôt des matériaux, une épaisseur de film cohérente et répétable, et un fonctionnement sûr.
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