Occasion ULVAC SME-200J #9266438 à vendre en France
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ID: 9266438
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2010
Sputtering systems, 6"
(3) Chambers
2010 vintage.
L'équipement de pulvérisation ULVAC SME-200J est un système polyvalent conçu pour divers processus de métallisation dans le dépôt de couches minces. Il est composé d'une alimentation RF pour produire le plasma pulvérisateur, ainsi que d'une chambre qui abrite le processus. L'unité peut traiter une grande variété de cibles et de gaz, fournissant un large éventail de techniques de pulvérisation. La chambre de pulvérisation ULVAC SME 200 J utilise un magnétron planaire avec deux jeux d'aimants disposés perpendiculairement à la cible, permettant de contrôler la densité du plasma. Cette machine est également capable de faire tourner les aimants pour optimiser l'homogénéité du matériau pulvérisé. La chambre comprend deux cibles de 40 cm, une arrivée de cible, une arrivée de gaz et un orifice de vide pour l'évacuation de la chambre. Il existe également un dispositif spécial de ventilation pour réduire les risques de contamination. Pour contrôler le processus de pulvérisation, l'outil est équipé d'une interface programmable. L'opérateur peut définir les paramètres du processus et la séquence des opérations. Des paramètres tels que le courant cible, la pression, le contrôle du gaz et les conditions plasmatiques peuvent être fixés et surveillés. Cette interface permet également de stocker des recettes et de surveiller la mesure du plasma. SME-200J traite de grandes surfaces de substrats avec un revêtement uniforme des films. Il est construit avec un arrêt d'urgence, un moniteur de température et des moyens de sécurité. Il est compatible avec une variété de types de substrat, y compris l'aluminium, l'acier inoxydable, le quartz et les matières plastiques. Le modèle de pulvérisation est idéal pour les procédés de dépôt en couches minces tels que la production de panneaux LCD et de cellules solaires. L'équipement de pulvérisation électrique SME 200 J est un dispositif de dépôt de couches minces puissant et polyvalent. Avec ses paramètres réglables, sa grande surface de pulvérisation et son large éventail de techniques de pulvérisation, ULVAC SME-200J est un outil efficace pour de nombreux procédés de couches minces.
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