Occasion ULVAC SME-200LDM #9055124 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9055124
Style Vintage: 2010
Sputtering system
Single wafer type
(1) 4-Chamber, 2-RTA
(1) 6-Chamber
2010 vintage.
ULVAC SME-200LDM est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour répondre à divers besoins de revêtement industriel. Il offre une excellente uniformité des dépôts de couches, ainsi qu'un contrôle des paramètres du procédé, ainsi que des capacités de vitesse de dépôt élevées. Le système est équipé d'une cible de pulvérisation avancée à poches multiples, avec jusqu'à douze cibles rondes de 80mm de diamètre capables d'assurer un dépôt de film uniforme et précis. Le dispositif à poches multiples permet à l'opérateur d'utiliser différentes cibles de pulvérisation ou de déplacer des cibles à différents endroits du processus de dépôt. SME-200LDM dispose d'une chambre à vide à 150 mm d'intervalle entre le substrat et la cible. Cela permet de grandes zones de pulvérisation et des taux de dépôt élevés, avec la capacité de revêtir les substrats jusqu'à 330 mm de diamètre. Il est équipé d'une pompe mécanique à entraînement direct sans huile à haut rendement, qui assure une évacuation rapide et minimise les temps d'arrêt. En outre, l'unité est également compatible avec les pompes à vide externes pour améliorer encore les performances. Afin d'assurer le plus haut niveau d'uniformité, ULVAC SME-200LDM est équipé d'un scanner à masque mylaire dynamique qui compense la courbure du substrat et l'écart fluctuant entre substrat et cible. La machine dispose également d'un ensemble obturateur dynamique afin d'obtenir rapidement un revêtement de haute qualité. L'ensemble d'obturation peut se déplacer pour maintenir une vitesse de dépôt uniforme indépendamment des changements de forme ou de géométrie du substrat. SME-200LDM est également équipé d'un contrôleur de fenêtre de processus (PWC) unique. Le PWC est un logiciel qui utilise une analyse en temps réel de la vitesse de dépôt, de l'épaisseur du film et de la topologie de surface afin d'optimiser l'ensemble du processus de pulvérisation pour un débit plus élevé et une meilleure qualité. Enfin, l'outil est configuré avec un panneau de contrôle qui permet un contrôle et une surveillance complets du processus. Tous les paramètres de l'actif peuvent être facilement définis, surveillés et ajustés en fonction des besoins des utilisateurs. Ceci rend le modèle de pulvérisation extrêmement souple et permet aux utilisateurs d'effectuer rapidement des ajustements pour atteindre les profils de dépôt souhaités. Dans l'ensemble, ULVAC SME-200LDM est un équipement de pulvérisation perfectionné capable de fournir une couverture de zone excellente, uniforme et contrôlée, ainsi que des taux de dépôt élevés. Sa polyvalence et ses caractéristiques étendues en font un choix idéal pour une variété de besoins de revêtement.
Il n'y a pas encore de critiques