Occasion ULVAC SPW-030S #9034013 à vendre en France
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Vendu
ID: 9034013
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 1987
In-line sputter coater, 12"
Includes:
(5) Large sputter cathodes around large process drums
Wide web system, 14"
Sputtering system with plasma treatment
(5) Inline target capabilities
(3) Cryro pumps / (3) Rough pumps with booster pumps
1987 vintage.
ULVAC SPW-030S est un équipement de pulvérisation conçu pour la préparation d'échantillons de haute précision de semi-conducteurs et d'autres matériaux. Il est équipé d'une source de pulvérisation magnétron plane, d'un obturateur biplan et d'une chambre à vide élevé. Le système est capable de traiter à la fois des applications à forte et à faible puissance de pulvérisation, avec une gamme de puissance comprise entre 5 et 120 W. En outre, SPW-030S est équipé d'une unité de refroidissement de source de pulvérisation avancée, qui assure un processus de pulvérisation très efficace et une circulation de chambre stable. La machine est également équipée d'un contrôle de puissance de pulvérisation automatique fiable et d'une vitesse de dépôt homogène. La chambre à vide d'ULVAC SPW-030S est équipée d'une turbomachine en céramique capable de réaliser des vide jusqu'à 1 x 10-6 Torr. Il est également équipé d'un port d'angle d'incidence in situ (AOI) qui permet à l'utilisateur de surveiller le processus à distance et avec précision. En outre, il dispose d'une grande fenêtre tunnel qui offre une large zone de visualisation pour la surveillance des processus. SPW-030S outil de pulvérisation peut traiter de nombreux matériaux, y compris l'or, l'argent, l'aluminium, le titane et le silicium. Il est conçu pour fonctionner à courant continu (DC) ou à fréquence radio (RF) et peut être utilisé dans une variété de processus spécifiques à l'application. De plus, l'actif dispose d'un modèle de livraison de gaz qui permet à l'utilisateur d'ajuster le débit de gaz et la pression en fonction des différentes exigences du processus. L'équipement de pulvérisation ULVAC SPW-030S est idéal pour la préparation précise d'échantillons de semi-conducteurs et d'autres matériaux, avec un haut degré d'uniformité et d'efficacité. Son système de contrôle facile à lire, ses fonctions de refroidissement avancées et sa stabilité remarquable assurent un processus fiable et fiable. Dans l'ensemble, SPW-030S est une unité de pulvérisation avancée et robuste qui offre un contrôle supérieur sur le processus de pulvérisation.
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