Occasion ULVAC SRH-420 #293830631 à vendre en France

L'équipement de pulvérisation ULVAC SRH-420 est un outil polyvalent et efficace utilisé pour créer des films minces, en particulier dans le but de créer des dispositifs semi-conducteurs. Le système dispose d'une unité de mouvement robotique à cinq axes avec une structure de chambre à vide intégrée de 6 pouces. La machine comprend un réglage manuel de la hauteur angulaire de 0-15 ° et un ciblage de précision de la cible de pulvérisation. Les avantages supplémentaires de SRH-420 comprennent une empreinte plus faible qui se traduit par des débits plus élevés et un flux de travail amélioré. Au cœur de l'outil se trouve la source haute performance RF (radio-fréquence), qui est une seule source de fréquence, fonctionnant jusqu'à 4kW, fournissant une sortie cohérente et uniforme. La source d'énergie RF est susceptible d'être appliquée sur la cible de pulvérisation par contact direct, ainsi que par couplage inductif sans contact, ce qui permet de pulvériser des films diélectriques. De plus, l'actif est capable de déposer simultanément jusqu'à quatre matériaux, permettant la production de couches minces multicouches et multicomposantes. ULVAC SRH-420 est exploité via une interface graphique embarquée, qui permet à l'utilisateur d'effectuer divers processus tels que le pompage, le nettoyage des pulvérisateurs, le chargement/déchargement des substrats et la surveillance des substrats. Il a également la capacité de stocker des recettes ainsi que de générer des rapports de processus détaillés avec des données de processus en temps réel. Il est compatible avec une variété de gaz de procédé tels que l'hydrogène, l'argon, l'azote, l'oxygène et d'autres gaz inertes. SRH-420 modèle de pulvérisation est conçu pour fournir les films minces de la plus haute qualité, qui peut être utilisé pour une variété d'industries telles que les écrans plats, les dispositifs semi-conducteurs, MEMS et d'autres technologies de films minces. L'équipement est très polyvalent et convivial, ce qui en fait un choix idéal pour les entreprises à la recherche d'une solution fiable et rentable pour le dépôt de couches minces.