Occasion ULVAC SRH-530 #9409839 à vendre en France

ULVAC SRH-530
ID: 9409839
Sputtering system.
ULVAC SRH-530 est un équipement de pulvérisation conçu et fabriqué par ULVAC Corporation. Le système est principalement utilisé pour des applications de production de films et utilise un procédé de pulvérisation magnétron à vide. L'unité de pulvérisation est composée d'une chambre à vide et d'un ensemble de mécanismes de transport et d'alimentation des matériaux de dépôt de films. La chambre à vide est conçue pour fonctionner sous une pression allant de 10-2 à 10-6 Pa. Elle est équipée d'une pompe rotative, d'une pompe moléculaire turbo et d'une pompe d'appoint turbo moléculaire. La machine comprend également une alimentation RF, un réseau d'adaptation RF, une source de plasma RF, une cible de pulvérisation et un mécanisme de navette. SRH-530 fournit un procédé de dépôt de film pulvérisé magnétron bien contrôlé. L'alimentation RF utilisée dans l'outil fournit une tension et un courant continus stables à la cible. Le réseau d'adaptation RF et la source de plasma génèrent le plasma pour pulvériser le matériau cible. Le mécanisme de navette aide au transfert de la cible dans l'actif et à l'alignement de la cible sur le substrat. De plus, le modèle fournit un environnement sans contamination pour le processus de dépôt des films. L'équipement offre une grande précision dans le contrôle des paramètres du processus de pulvérisation tels que le niveau de puissance RF, le débit de gaz et la température du substrat. Le débit de gaz est principalement régulé par un régulateur de débit massique. La température du substrat peut être contrôlée à l'aide d'un régulateur de température. Le système dispose également d'un logiciel puissant pour la gestion des données et le contrôle des processus. L'unité de pulvérisation ULVAC SRH-530 est idéale pour produire des films à haute performance tels que des revêtements antireflets, des revêtements de protection, des couches conductrices et des films optiques. La machine peut être utilisée dans plusieurs industries dont les semi-conducteurs, l'automobile, l'électronique et l'optique. SRH-530 a un design compact et est facile à utiliser. Ses performances et sa précision en font un choix de haute qualité pour les applications de dépôt de films.
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