Occasion ULVAC SRH-820 #9384114 à vendre en France

ID: 9384114
Style Vintage: 2006
Sputtering system 2006 vintage.
ULVAC SRH-820 est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour des applications de recherche et de production. Le système utilise des pulvérisateurs DC/RF avec des cibles doubles et est capable de déposer sur des surfaces planes et courbes. Il est le plus souvent utilisé pour le dépôt en couches minces de divers matériaux tels que les métaux, les oxydes et les nitrures. L'unité comprend une chambre à vide avec une fonction de purge des gaz, une source magnétron, un mandrin de substrat électrostatique et une source magnétron ultra haute fréquence. La source magnétron ultra haute fréquence permet des performances de pulvérisation stables avec un débit élevé à plus faible puissance. Les étages de substrat électrostatique à huit axes sont capables de tourner et de basculer pour une pulvérisation efficace sur des substrats de forme différente. La chambre comprend également un jet turbulent blindé à gaz pour la pulvérisation sur des surfaces courbes et un réseau de réseaux d'aimants pour la pulvérisation uniforme sur de grandes surfaces. La chambre comprend également une ligne de transmission et un réseau de filtres pour réduire les effets des particules et autres impuretés générées au cours du processus. La source magnétron de grande puissance est également réglable et peut être utilisée pour des temps de dépôt courts. La machine offre également un étage de substrat à température contrôlée avec une large gamme de températures de -30 à + 250 ° C, permettant le dépôt de différents matériaux à différentes températures. L'outil comprend également un contrôleur de pulvérisation pour le contrôle automatisé de la puissance RF, du courant cible et de la température du substrat. Il est également livré avec une variété de caractéristiques de sécurité, comme un interrupteur de sécurité et un écran d'avertissement si une anomalie est détectée. ULVAC SRH 820 est parfait pour diverses applications de dépôt, des petits échantillons aux grands substrats. Il est capable de gérer facilement le dépôt de couches minces d'une grande variété de matériaux avec stabilité, uniformité et fiabilité. Avec ses fonctionnalités avancées, SRH-820 est devenu un choix populaire pour les applications de pulvérisation.
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