Occasion ULVAC SRH-820 #9398866 à vendre en France
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ID: 9398866
Style Vintage: 2006
Sputtering system
Type: UBM
Ti W / Au
2006 vintage.
ULVAC SRH-820 est un équipement de pulvérisation conçu pour déposer des films minces métalliques et diélectriques. Il dispose de pulvérisation magnétron résistive directe, qui permet un contrôle de précision des vitesses de pulvérisation et une uniformité de l'épaisseur du film pour une performance et une fiabilité accrues. La chambre de travail d'ULVAC SRH 820 est équipée d'un mécanisme de formation de film unique - Dual Now Vacuum Field Field Control (Denfield) - qui combine un bouclier électrostatique avec une puissante source magnétron pour obtenir un contrôle de processus stable et des films de haute qualité. Le système peut également être personnalisé pour diverses applications, avec du matériel de contrôle, des logiciels, des matériaux et des composants pour optimiser la structure de surface et de film du produit fini. La conception du SRH-820 comprend une source de magnétron RF de haute précision et de faible énergie pour permettre le dépôt de pulvérisateurs à grande surface avec une bonne uniformité. Cette conception permet une bonne homogénéité du film et un excellent contrôle des particules, ce qui contribue à améliorer la stabilité du processus, la fiabilité du dispositif et le coût de possession. La conception à double vide permet également une flexibilité du procédé ainsi que des taux de dépôt plus élevés. En outre, le magnétron RF, le magnétron DC/RF et tous les composants de pulvérisation sont conçus pour recevoir une puissance élevée jusqu'à 110kW, permettant des dépôts avec des vitesses, des qualités et des structures de film variables. La compatibilité de SRH 820 avec l'une des interfaces PC les plus largement adoptées, un logiciel basé sur Windows, facilite la programmation et le contrôle de l'unité. L'interface intuitive permet également aux utilisateurs d'accéder rapidement aux données précédentes et de mettre rapidement en place de multiples applications pour diverses exigences procédurales. En outre, une machine d'enregistrement intégrée fournit une documentation détaillée pour une analyse plus approfondie. Pour garantir des performances et un fonctionnement optimaux, ULVAC SRH-820 dispose de plusieurs dispositifs de sécurité, dont un interrupteur de secours, un indicateur de pression/dépression et un moniteur automatique de particules, entre autres. L'amélioration de la capacité de pulvérisation et les capacités optionnelles de diagnostic in situ de l'ULVAC SRH 820 offrent des avantages supplémentaires par rapport aux autres systèmes. En conclusion, SRH-820 est un outil de pulvérisation perfectionné conçu pour assurer un contrôle précis du dépôt des pulvérisateurs et de la formation de films minces. Son double contrôle de champ sous vide, ses multiples sources de pulvérisation, sa large compatibilité avec les matériaux et ses fonctions de sécurité intégrées en font un choix puissant pour des applications de haute précision et de haute qualité.
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