Occasion ULVAC STD-1800VR #293830612 à vendre en France

ID: 293830612
Sputtering system (5) Cathodes (10) End block / support blocks (10) Magnet bars (20) Substrate carriers Process gas inlet pipe Vent gas inlet pipe (3) Ports Frame Dress panel Return system: (4) Loading/unloading stations Loading/unloading robot Carrier atmospheric return system Stocker Cart Control system: Control panel Cathode power supply panel MITSUBISHI Q Series Sequencer GPCS2700, Windows XP Gray room LCD monitor, 15” Key board Mouse Transfer system: Bottom roller Upper magnet system Magnetic fluid (Ferro fluid) seal Measuring system: G-TRAN BMR-2 Ionization vacuum gauge M-11 Probe of ionization vacuum gauge G-TRAN SP1 Pirani gauge WP-01 Probe of pirani gauge MKS 627D-01T-B-C Diaphragm vacuum gauge Compressed air system: Four-way solenoid valve Pressure gauge, pressure switch, regulator Piping Cooling water system: Water supply / drain header Flow switch, stop valve Pressure gauge, pressure switch Piping Cooling water: Pressure supply: 0.2 to 0.3 MPaG Drain: 0.05 MPaG Water temperature: 20℃ to 27 ℃ Flow rate: 57 m3 / hr Water quality: 5 kΩ・cm Compressed air: Pressure supply: 0.5 to 0.7 MPaG Air temp: 10 to 40℃ Dew point: -40℃ Gases: Ar Gas: Pressure supply: 0.05 to 0.07 MPaG Consumption Max: 10000 SCCM O2 Gas: Pressure supply: 0.05 to 0.07 MPaG Consumption Max: 2840 SCCM N2 Gas: Pressure supply: 0.05 to 0.07 MPaG Consumption Max: TBD SCCM Exhaust pressure: 0.01 MPaG.
ULVAC STD-1800VR est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour les procédés physiques de dépôt en phase vapeur dans les applications avancées de dépôt en couches minces. Ce système est fabriqué par ULVAC Technologies, un fournisseur leader de solutions de dépôt sous vide et en couches minces pour les industries des semi-conducteurs, MEMS, photovoltaïques et optiques. STD-1800VR offre une plate-forme polyvalente pour le dépôt d'une large gamme de matériaux en couches minces avec une grande précision et uniformité, le rendant adapté aux environnements de recherche et de production. ULVAC STD-1800VR est une unité de pulvérisation magnétron haute performance qui utilise une cathode magnétron pour générer une décharge plasma et un produit de pulvérisation à partir d'une cible sur un substrat. La machine dispose d'une chambre à vide avec de multiples sources de dépôt, des capacités de manipulation du substrat et des fonctions avancées de contrôle des processus pour assurer un dépôt de film cohérent et reproductible. Une des caractéristiques clés de STD-1800VR est son outil de contrôle avancé, qui permet aux utilisateurs d'ajuster avec précision les paramètres de dépôt tels que la puissance cible, la température du substrat, les débits de gaz et le taux de dépôt en temps réel. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir des couches minces de haute qualité avec des propriétés spécifiques telles que l'épaisseur, la composition et la morphologie. ULVAC STD-1800VR est équipé d'une source de magnétron RF de haute puissance qui améliore l'efficacité et l'uniformité de pulvérisation par rapport aux sources de magnétron à courant continu classiques. La source RF peut pulvériser un large éventail de matériaux, y compris des métaux, des oxydes, des nitrures et des alliages, ce qui rend l'actif adapté à une variété d'applications. Le modèle dispose également d'une chambre de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement rapides et efficaces du substrat, réduisant les temps d'arrêt et augmentant la productivité globale. En outre, STD-1800VR est équipé d'une variété d'options de chauffage et de refroidissement du substrat pour permettre un contrôle précis de la température du substrat pendant le dépôt. Ceci est crucial pour optimiser les propriétés du film et l'adhésion au substrat. ULVAC STD-1800VR est conçu avec une configuration modulaire, permettant une expansion et une personnalisation faciles pour répondre aux exigences spécifiques des processus. L'équipement peut être équipé de diverses caractéristiques supplémentaires telles que des outils de surveillance in situ et de diagnostic des processus, des capacités de polarisation des substrats et des capacités de dépôt multicouches pour des structures de couches minces plus complexes. En conclusion, STD-1800VR système de pulvérisation est un outil polyvalent et fiable pour déposer des films minces de haute qualité dans des environnements de recherche et de production. Avec ses capacités de contrôle avancées, sa source de magnétron haute performance et ses options de configuration flexibles, ULVAC STD-1800VR est bien adapté à une large gamme d'applications de dépôt de couches minces dans diverses industries.
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