Occasion ULVAC ULDiS-900CH #9313966 à vendre en France

ULVAC ULDiS-900CH est un équipement de pulvérisation perfectionné pour le dépôt par pulvérisation à haut débit de couches minces. Le système peut déposer un large éventail de matériaux, donnant à l'utilisateur une grande liberté en termes de paramètres de procédé et de vitesse de dépôt. L'unité est composée de deux composants principaux : la chambre à vide et l'alimentation, qui permet des décharges de pulvérisation continue et impulsionnelle. La chambre à vide est une structure robuste en acier inoxydable refroidi à l'eau avec accès de chargement supérieur, et un récipient à vide rectangulaire avec des parois en quartz ou en acier inoxydable. La chambre a une pression de base standard de 1 × 10-6 Pa ou plus bas, et est capable d'atteindre 10-9 Pa ou plus bas avec pompage supplémentaire. Il est également équipé de pièges frigorifiques réfrigérés et d'une turbomachine, ainsi que d'un système intégré d'admission et de contrôle des gaz. La machine d'alimentation est un générateur de mode interrupteur à haute vitesse compact qui utilise une impulsion haute fréquence pour la puissance cathodique. Cette alimentation est capable à la fois de décharges continues en courant continu et de décharges pulsées en courant continu, ce qui permet un dépôt efficace et uniforme du film sur la cible. Il peut également fournir des densités de puissance allant jusqu'à 50 W/cm2, avec une fréquence d'éclatement réglable. La largeur d'impulsion et la tension de sortie sont réglables en fonction du type de matériau déposé et des exigences du procédé. ULDiS-900CH les matériaux sont maintenus en place par un mandrin électrostatique réglable et un outil de visualisation laser. En outre, l'actif dispose d'un module automatisé de chargement/déchargement de plaquettes, et l'ensemble du modèle est compatible avec une gamme d'interfaces logicielles pour le contrôle des processus, l'acquisition de données et le développement de recettes. Dans l'ensemble, les équipements de pulvérisation ULVAC ULDiS-900CH offrent une solution efficace pour le dépôt par pulvérisation à haut débit et à grande surface de couches minces. Avec son système d'alimentation électrique réglable, son mandrin électrostatique réglable, son appareil de visualisation laser et son module automatisé de chargement/déchargement des plaquettes, il offre un moyen efficace et fiable de déposer des films minces.