Occasion ULVAC Zi-1000 #293829724 à vendre en France

ULVAC Zi-1000
ID: 293829724
PVD Sputtering system.
L'équipement de pulvérisation ULVAC Zi-1000 offre une excellente qualité de film et l'uniformité de sa source de décharge de gaz extrêmement uniforme et à basse pression. Ce système est conçu pour être utilisé pour un certain nombre d'applications différentes, y compris la production de dispositifs semi-conducteurs, la production de dispositifs optiques, la recherche de matériaux et le dépôt de couches minces en céramique. L'unité intègre une grande variété de caractéristiques qui rendent cette machine idéale pour l'utilisation dans les procédés de dépôt de couches minces haut de gamme. Zi-1000 dispose d'une double source de pulvérisation magnétron à deux poches, qui peut être utilisée pour pulvériser des matériaux conducteurs et non conducteurs. Cette source est conçue pour fournir une vitesse de dépôt de film allant jusqu'à 30 nm/min. L'ULVAC Zi-1000 possède également une source brevetée de magnétron continu à basse pression, multifréquence, pour améliorer l'efficacité de l'ionisation et l'uniformité du processus de dépôt. Le manipulateur robotique d'échantillons Zi-1000 facilite le transfert des substrats de la chambre de l'outil vers une plate-forme de maintien. Ce manipulateur d'échantillons permet également le dépôt continu de couches multiples sur le substrat, sans avoir à le retirer et à le remplacer manuellement. La jauge à vide contrôlée par ordinateur de l'actif fournit des lectures précises pour assurer des conditions de processus cohérentes. Le modèle dispose également d'un régulateur de pression sous vide automatisé, permettant une facilité de fonctionnement et un contrôle précis de la pression de la chambre. ULVAC Zi-1000 est équipé d'un moniteur intégré d'épaisseur de film qui extrait des données d'un oscillateur à cristaux de quartz commandé par ordinateur pour des mesures précises. Cette caractéristique assure la répétabilité et l'intégrité du film déposé. Zi-1000 offre un certain nombre d'autres caractéristiques, dont un équipement de contrôle de la vitesse de dépôt de haute précision, un nettoyage automatisé de la chambre de dépôt et un système numérique de contrôle de la température. L'unité est également conçue avec des dispositifs de sécurité pour prévenir les accidents. ULVAC Zi-1000 ses excellentes performances et ses caractéristiques uniques en font un choix idéal pour les procédés de pulvérisation qui nécessitent un haut degré de contrôle et de précision. La polyvalence de la machine permet de produire des films de différents matériaux, avec une excellente homogénéité et répétabilité, ce qui en fait un choix parfait pour de nombreuses applications.
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