Occasion UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9214650 à vendre en France

UNAXIS/BALZERS LLS 502 est un équipement de pulvérisation conçu pour diverses applications en couches minces. Le système comprend un porte-cible de cinq pouces de diamètre, une cathode de six pouces et une unité de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement efficaces du substrat. La taille maximale du substrat est de 6 « x 4,75 ». La machine fonctionne à une puissance plasmatique maximale de 360 watts avec une grande uniformité et une faible non-uniformité plasmatique. L'outil de verrouillage de charge surveille en permanence la pression, la température et la vitesse pour le chargement et le déchargement précis des échantillons. L'actif de manipulation de la cible fournit un contrôle de la cible très précis et permet une utilisation maximale de la cible. Le module PECVD du modèle fournit une large gamme de paramètres de processus. Sa chambre de process dispose d'un belljar monobloc avec une vue optiquement accessible. Il est capable de maintenir des températures, des pressions et des gaz précis dans une large gamme de températures basses à moyennes. L'équipement dispose également d'un module de pulvérisation qui est capable de traiter des films minces et épais. Il dispose d'une chambre de procédé à trois zones, d'une chambre à vide cylindrique en acier inoxydable de trois pouces de diamètre intérieur, d'un magnétron à quatre zones et d'un système d'arrêt rapide à trois zones. L'uniformité et l'homogénéité des films pulvérisés peuvent être atteintes avec l'unité d'aimantation, qui permet de contrôler le profil du champ magnétique et de pulvériser uniformément des substrats jusqu'à 6 "de taille. Le contrôle des processus de la machine dispose d'une interface d'opérateur basée sur Windows conçue pour une intégration sans faille des outils. Il dispose d'un atout d'accès à distance sécurisé qui permet d'accéder au modèle depuis n'importe où avec une connexion Internet. L'équipement dispose également de puissantes fonctions de contrôle de processus, y compris des recettes de lots, de profils de processus multiples et de contrôle de puissance variable. Dans l'ensemble, UNAXIS LLS 502 est un système de pulvérisation de haute précision adapté à une large gamme d'applications en couches minces. Il dispose d'un porte-cible de cinq pouces de diamètre, d'une cathode de six pouces et d'une unité de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement efficaces du substrat. Ses modules PECVD, sputter et contrôle de processus offrent une large gamme de capacités de traitement pour une gamme d'applications en couches minces.