Occasion UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9214750 à vendre en France

UNAXIS/BALZERS LLS 502 est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour déposer des films minces sur des substrats. Il est adapté pour la production à l'échelle industrielle d'une variété de matériaux en couches minces et peut déposer des films à partir d'une ou plusieurs cibles. Le système comprend une chambre de pulvérisation avec un vide ultra-élevé de 2 x 10-6 mbar, une plage de température de 150 ° C à 350 ° C et une distance maximale de travail entre le plasma et le substrat de 360 mm. Des films peuvent être déposés directement sur le dessus du substrat ou sur un mandrin cible. L'unité comprend également un contrôle automatisé de processus multi-zones avec des recettes manuelles et automatiques de dépôt. L'UNAXIS LLS 502 est alimenté par une source moyenne fréquence d'une puissance maximale de 6kW qui fournit une vitesse de dépôt stable et uniforme. Il intègre une machine d'évacuation complète comprenant une pompe sèche mécanique sans huile, une pompe turbomoléculaire pour la pré-évacuation, quatre pompes de type diffusion et un ensemble de soupapes de pompe à cry. Le logiciel de contrôle assure un contrôle précis du processus, y compris la tension de polarisation cathodique, la pression du gaz de pulvérisation et la température. Il comprend également un éditeur de recettes pour l'utilisateur afin de configurer un processus sur mesure avec des paramètres corrects. Pour assurer la répétabilité, l'outil est équipé d'un atout automatique de contrôle de planarité. BALZERS LLS 502 peut être utilisé pour diverses techniques de dépôt de film telles que PVD (Physical Vapor Deposition), pulvérisation magnétron, dépôt de faisceau d'ions et pulvérisation réactive. Il convient à une variété d'applications telles que les dispositifs semi-conducteurs, les dispositifs microélectroniques, les couches diélectriques, les couches de métallisation, les couches ITO, les dépôts multicouches, les MEMS, les couches minces pour l'optique et l'affichage, les systèmes multi-cibles et multi-matériaux, et la production de couches minces magnéto-optiques. Le modèle est conçu pour une production fiable et répétable de films minces de haute qualité adaptés à diverses applications de recherche et industrielles. C'est un équipement de dépôt polyvalent avec une gamme de caractéristiques et est parfait pour tout type de procédé de dépôt en couches minces.