Occasion UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167779 à vendre en France

UNAXIS/BALZERS LLS EVO est un équipement hybride de pulvérisation, caractérisé par un arrangement de magnétron linéaire non inductif couplé pour produire des films minces, qui combine les avantages de d.c. et techniques de pulvérisation à basse fréquence. Le système propose également des mesures de métrologie in situ pour évaluer la qualité du dépôt. L'unité comporte deux composants principaux, une grande unité de magnétron linéaire et une plus petite alimentation en magnétron linéaire. L'alimentation en magnétron linéaire permet la génération d'un courant continu très homogène et homogène. champ de pulvérisation à l'intérieur de la chambre magnétron. De plus, une impulsion basse fréquence alternative de forte puissance est injectée dans l'alimentation pour favoriser l'ionisation et la mobilité des matériaux dans le plasma. Cette disposition permet des taux de dépôt plus élevés tout en conservant une bonne homogénéité et homogénéité. L'unité de magnétron linéaire est équipée de 6 sources de pulvérisation, chacune à puissance d'entrée variable, ainsi que de 4 cibles en ligne tournantes. La machine est conçue avec des jeux entre les cibles pour faciliter le changement des cibles de film. En outre, la chambre magnétron est construite en acier inoxydable pour assurer un environnement sous vide fiable. De plus, la chambre de travail à magnétron linéaire est reliée à des ports supplémentaires pour permettre la surveillance optique in situ. L'UNAXIS LLS EVO est conçu pour garantir la plus grande uniformité sur les grands substrats et pour réduire au minimum les problèmes de particules et de débris pendant le processus de dépôt. Ses conditions de fonctionnement efficaces améliorent le rapport gravure/dépôt pour un meilleur rendement du procédé. L'outil est également équipé d'une surveillance avancée du contrôle des processus à bord, permettant une performance de pulvérisation précise et un environnement de dépôt fiable. De plus, l'actif permet une analyse et une optimisation complexes des technologies, comme le recuit d'oxyde et les cycles de dépôt. Dans l'ensemble, le modèle de pulvérisation BALZERS LLS EVO offre une solution puissante, fiable et efficace pour la recherche sur les dépôts en couches minces et l'optoélectronique.