Occasion UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904 à vendre en France

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ID: 9237904
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1999
Sputtering system, 6" ADVANCED ENERGY 6K RF Power supply Used materials: AlCu, NiFe, Ni, Cr, Cu Substrates size, 6" Target size: NiFe, Ni (127x381x3t) (2) AlCu, Cr, Cu (127x381x6t) 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO est un équipement de pulvérisation conçu pour les environnements industriels, de recherche et de développement. Le système est conçu pour un dépôt de pulvérisateurs à haut volume fiable avec une manutention avancée de la charge et une automatisation intégrée des processus pour les applications à haut débit. Cette unité est capable de revêtir à la fois des substrats de grande surface en mode de production, ainsi que de petits échantillons destinés à la R&D. Il peut intégrer jusqu'à seize chambres de procédés indépendantes, permettant des processus rapides et reproductibles à des taux de dépôt élevés et à un faible budget thermique. La machine à pulvériser dispose de UNAXIS Low Load Sputtering (LLS), une technologie de pulvérisation unique qui fournit un revêtement stable et uniforme sur les surfaces planes et les cavités profondes. Pour maintenir des taux de dépôt élevés, la technologie LLS maintient la zone de dépôt couverte et constamment en mouvement, permettant un taux de dépôt plus uniforme et plus élevé que les techniques traditionnelles de pulvérisation. La technologie LLS contribue également à réduire le budget thermique pendant le processus de pulvérisation, protégeant ainsi les substrats délicats. L'outil est également équipé d'une automatisation de processus intégrée de pointe pour un contrôle et une répétabilité complets des processus. Cela comprend le suivi des cibles programmables, les programmes de chargement et de déchargement, les recettes de processus et l'historique des processus. De plus, la gestion de charge innovante de l'actif permet de charger jusqu'à douze racks à la fois, ainsi qu'un empilement automatisé de palettes afin de rationaliser davantage votre processus de production. En outre, le modèle est également équipé d'un design respectueux de l'environnement. Tous les composants, tels que les pompes, les turbines, les réservoirs et les filtres, sont conçus pour une efficacité énergétique élevée. L'équipement dispose de faibles niveaux de bruit pour un environnement de travail plus agréable, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de pulvérisation à haut volume. Dans l'ensemble, le système de pulvérisation UNAXIS LLS EVO est une unité polyvalente, fiable et efficace pour le revêtement des pulvérisateurs, offrant une solution simplifiée pour les applications à haut volume. Son automatisation avancée, son contrôle intégré des procédés et son faible budget thermique le rendent idéal pour revêtir à la fois des substrats de grande surface et des substrats délicats pour la recherche et le développement.
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