Occasion UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9259021 à vendre en France

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UNAXIS / BALZERS LLS EVO
Vendu
ID: 9259021
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1999
Sputtering system, 6" 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO est un équipement de pulvérisation magnétron couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs dans divers procédés de dépôt. Le système est composé d'une chambre de pulvérisation, de sources de matériaux cibles et de plusieurs autres composants. La chambre de pulvérisation elle-même est une chambre à vide destinée à contenir une gamme de substrats comprenant des plaquettes et d'autres dispositifs. Ces substrats sont chargés sur une plate-forme spéciale de bateau en plaquettes à vide qui se trouve à l'intérieur de la chambre. Ceci est nécessaire pour que le processus de dépôt se déroule de manière uniforme. La chambre de pulvérisation abrite également les systèmes de pulvérisation magnétron. C'est ce qui permet de déposer les sources de matériau cible sur les surfaces du substrat. Une source haute tension est utilisée pour créer un champ électrique qui interagit avec les ions gazeux présents dans la chambre de pulvérisation. Cela les amène alors à bombarder le matériau de pulvérisation ciblé qui est ensuite propulsé de la surface du matériau sur le substrat. UNAXIS LLS EVO a des fonctionnalités avancées telles que la chambre réactive qui permet l'utilisation d'un mélange de gaz pour pulvériser et traiter certains matériaux. Ce type de procédé est idéal pour obtenir des rapports stoechiométriques spécifiques et créer des matériaux techniquement exigeants. L'unité dispose également d'une machine laser intégrée qui peut mesurer l'épaisseur des films déposés en temps réel. Cet outil d'éclairage sert également d'outil de diagnostic et de moniteur d'actifs. BALZERS LLS EVO est conçu pour une utilisation intensive et peut traiter jusqu'à 12 plaquettes par heure. Il dispose également d'un écran tactile pour un fonctionnement facile et des paramètres qui permettent à l'utilisateur d'adapter le processus de pulvérisation à leurs besoins spécifiques. Le modèle est équipé d'une variété de fonctionnalités conçues pour améliorer l'expérience utilisateur, comme un écran convivial, un contrôle de processus efficace et un logiciel puissant. L'équipement LLS EVO est un système de dépôt fiable et efficace qui peut aider à répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il peut fournir aux utilisateurs des procédés de dépôt avancés et précis qui aideront à augmenter le débit et le rendement de production. Les caractéristiques intégrées de l'unité permettent également de mieux contrôler et adapter les procédés, ce qui en fait une excellente solution pour une variété de besoins de dépôt.
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