Occasion UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795 à vendre en France

UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO
ID: 9285795
Sputtering systems Substrate size: 680 mm x 880 mm.
UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECO est un dispositif de dépôt polyvalent à haute performance utilisé pour la production de films minces sur divers substrats métalliques, céramiques et plastiques. Il se compose d'une chambre de procédés, d'alimentations RF et DC, d'une serrure de charge, de supports de substrat et d'un contrôleur. La chambre de procédé a un diamètre intérieur de 305 mm, et peut accueillir jusqu'à huit échantillons de l'un quelconque des substrats précités. L'écoulement du gaz dans la chambre est contrôlé par deux entrées de gaz, qui permettent l'introduction de gaz réactifs pour le dépôt réactif, et pour le nettoyage des pulvérisateurs. La chambre dispose également d'un système de chargement/déchargement, qui est automatisé et peut accueillir des substrats de 2 à 8 pouces de diamètre. L'alimentation RF permet des taux de dépôt élevés, tandis que l'alimentation en courant continu assure l'uniformité du film. Il offre jusqu'à 800 W de puissance à une fréquence de 13,56 MHz. La serrure, de type dynamique, assure le fonctionnement continu de l'unité lors du chargement et du déchargement des substrats. Il peut accueillir jusqu'à quatre substrats. Les supports de substrat assurent une homogénéité à basse température lors de la pulvérisation et ont un support indépendant pouvant atteindre 250 kg pour chaque support. Le réseau de champs magnétiques permet de focaliser les particules déposées lorsque les supports de substrat sont inclinés. Le contrôleur, qui fonctionne avec un logiciel basé sur Windows, fournit une interface utilisateur intuitive facile à utiliser. UNAXIS UNI 800 ECO est une machine fiable et à la pointe de la technologie adaptée à une large gamme d'applications de pulvérisation. Il est capable de déposer un large éventail de matériaux, et fournit une grande qualité d'uniformité et de débit. Ses caractéristiques avancées en font un outil idéal pour la production à grande échelle.
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