Occasion VARIAN 3118 #9358260 à vendre en France
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ID: 9358260
Evaporator
(4) Pockets AIRCO TEMESCAL E-Guns
Manual pocket rotation
AC Glow discharge
AIRCO CV-8 Power supply
With XY sweep
VHS-6 Diffusion pump
Neutral density filter
SYCON Monitor and controller
Bell jar, 18"
Base plate.
VARIAN 3118 est un équipement de pulvérisation à haut débit de haute précision pour le dépôt de couches métalliques minces sur des substrats tels que des plaquettes semi-conductrices. En tant que système phare de pulvérisation de VARIAN, 3118 offre une technologie de pointe avec des performances et une fiabilité exceptionnelles. Le système comprend jusqu'à 18 sources de pulvérisation à diodes magnétiquement améliorées capables de recouvrir divers substrats de métaux nobles, de semi-conducteurs et de matériaux diélectriques. VARIAN 3118 comprend deux régulateurs de température numériques pour un contrôle précis de la température du substrat dans la gamme allant de la température ambiante à 500C. Une machine robotisée de manutention de substrat à six positions permet un transfert de substrat efficace pour le dépôt simultané de films multicouches. 3118 est équipé d'un outil de serrure qui permet des échanges rapides de substrat sous vide, des cycles de pression rapides et un chauffage uniforme du substrat de température ambiante à 500C. L'actif dispose également d'un design ouvert, qui permet un accès facile pour l'entretien et le réglage. VARIAN 3118 Sputtering Model comprend également une série de systèmes de contrôle informatisés qui fournissent une surveillance et un contrôle précis de la pression, de la température, de la puissance, de la vitesse de dépôt et d'autres paramètres critiques. Le logiciel informatique sophistiqué permet la surveillance et la manipulation en temps réel des paramètres de dépôt et assure la robustesse et la fiabilité des résultats du processus. 3118 est capable de créer un large éventail de matériaux à couches minces de haute qualité pour une variété d'applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le traitement microélectronique et les cellules solaires à couches minces. L'équipement est très adapté à l'utilisation dans les laboratoires de recherche et les installations de production.
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