Occasion VARIAN 3120 #9069403 à vendre en France

VARIAN 3120
ID: 9069403
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1987
Sputtering system, 6" (3) Planets Diffusion pump: VHS-250 (3) Varian DC P/S RF gen: 1kW UNIT MFC heater with controller 1987 vintage.
Le VARIAN 3120 est un outil de pointe pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il s'agit d'un système intuitif et avancé qui permet aux utilisateurs de déposer rapidement et précisément des couches minces sur des substrats à haute température, tels que le verre, la céramique de verre, les plastiques et les métaux. 3120 comprend deux sources de pulvérisation indépendantes, mais simultanées, trois cibles rotatives, deux chambres de fluage et une source de pulvérisation magnétron. Le fonctionnement simultané de deux sources de magnétrons dans la chambre permet de maximiser les rendements et la reproductibilité des procédés. De plus, la chambre et ses composants sont conçus pour réduire le temps d'évacuation de la chambre et optimiser les taux de dépôt sur de plus grandes surfaces. VARIAN 3120 comprend également une grande chambre à vide qui est conçue pour maintenir un nettoyage équilibré et optimal en tout temps, ce qui donne une surface très propre et lisse pour le dépôt de couches minces. La machine 3120 présente une multitude de caractéristiques qui permettent aux utilisateurs de changer rapidement entre la pulvérisation et d'autres processus, y compris l'implantation d'ions, la fusion par faisceau électronique ou laser et l'oxydation thermique. L'utilisateur peut utiliser l'outil pour contrôler les paramètres du processus, tels que la densité de courant cible, le niveau de dopage à l'oxygène, la polarisation du substrat et la température à tout moment. Le VARIAN 3120 comprend également des caractéristiques de sécurité avancées, telles qu'un moyen de verrouillage qui garantit la sécurité d'utilisation du modèle. L'équipement est enfermé dans un climatiseur déchargé pour maintenir la température et la pression de la chambre constante. 3120 fournit également une imagerie à très haute résolution, permettant aux utilisateurs de visualiser, modifier et analyser des images à l'aide de son interface graphique conviviale. Cette interface permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres de synthèse pour affiner les couches de film. Enfin, le système VARIAN 3120 peut être facilement intégré dans les systèmes automatisés et les environnements d'usine. L'unité fonctionne dans un large éventail de conditions de processus, avec des températures de 200 ° C et des pressions allant jusqu'à 5E-6 Torr. Cela en fait un choix idéal pour les séries de production de masse.
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