Occasion VARIAN 3125 #127886 à vendre en France
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ID: 127886
Auto sputtering system
(3) S-Guns
(2) DCPS
Stainless steel water cooled chamber with two full opening doors
Liquid nitrogen trap-valve and VHS-250 DP
RF capability & match network but no RFPS
Substrate heat
IC-6000.
VARIAN 3125 est un système avancé de dépôt de couches minces conçu pour le dépôt de couches minces pour le traitement de matériaux à haute résolution. L'unité est composée d'une chambre à vide avancée, de sources de pulvérisation magnétron multiples et d'une puissante machine de commande. La chambre offre une large gamme de plages de pression de vide et de taille, permettant le dépôt de couches minces avec un débit, une flexibilité et un contrôle supérieurs. Les sources de pulvérisation magnétron de l'outil combinent un atout RF de grande puissance, la conception d'aimants bipolaires et plusieurs couches de refroidissement afin de fournir des processus de dépôt de pulvérisation supérieurs. La flexibilité de cette technologie permet aux clients d'ajuster des paramètres clés tels que les taux de pulvérisation, le bombardement ionique, la température, la puissance et la rotation de la cible - qui influent tous sur le processus de dépôt des couches minces. Le modèle de contrôle du 3125 est optimisé pour un contrôle complet des matériaux et des procédés. Ses capacités d'automatisation avancées permettent à l'utilisateur de développer, exécuter et surveiller les processus de dépôt et de mesure en couches minces. De plus, l'équipement de contrôle peut interagir avec des appareils externes, interagir avec diverses plates-formes logicielles et saisir des données provenant de sources multiples. Enfin, la chambre VARIAN 3125 est conçue pour maximiser la surface, minimiser la circulation des particules et minimiser les pressions de dépôt. Cela permet d'assurer le dépôt de films de haute qualité sur une variété de matériaux de substrat. La chambre est en outre équipée d'un système de contrôle actif de l'environnement qui régule la température, l'humidité, la pression et la propreté, permettant un contrôle précis et répétable de l'environnement du procédé. Dans l'ensemble, 3125 pulvérisateurs est un outil puissant et fiable pour le traitement des matériaux à haute résolution. Sa conception sophistiquée et sa puissante machine de contrôle permettent aux utilisateurs d'obtenir des dépôts de couches minces précis et reproductibles avec un maximum d'efficacité et de précision.
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