Occasion VARIAN 3180 #293827838 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293827838
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering systems, 4"
D16B Pump
(8) Cryopump
CTI CRYOGENICS 8200 Compressor
Power supply rack
Silicon Carbide (SiC).
Le VARIAN 3180, fabriqué par VARIAN, est un système polyvalent tout-en-un qui applique un revêtement fin uniforme sur des substrats plats. Il est idéal pour la recherche et le développement dans de nombreuses industries, telles que la microélectronique, le stockage d'énergie et l'affichage, car il permet d'enduire un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les alliages, les oxydes et les diélectriques. L'unité se compose d'une unité de base et d'un certain nombre d'autres composants, dont une source d'ions, une source d'alimentation en impulsions, une machine d'alimentation en gaz et une chambre de pulvérisation. La source d'ions utilise une décharge lumineuse RF ou DC pour créer un faisceau d'ions positif ou négatif qui oriente les espèces d'atomes pulvérisés dans une direction particulière. L'alimentation en impulsions est utilisée pour contrôler le débit et la largeur des impulsions, ce qui contribue à optimiser le taux de croissance du film. L'outil d'alimentation en gaz est utilisé pour injecter des gaz réactifs, tels que des mélanges Argon, O2, Ar-O2 ou N2, qui sont ensuite ionisés par le faisceau d'ions et provoquent un bombardement ionique supplémentaire du substrat. Ceci améliore l'adhérence mécanique et chimique du matériau pulvérisé et réduit la contamination par les particules sur le substrat. La chambre de pulvérisation est capable d'atteindre des conditions de vide élevé, ce qui est nécessaire pour réaliser un dépôt stable et uniforme du matériau de revêtement sur le substrat. Le porte-substrat est motorisé pour l'échange d'échantillons et peut être facilement re-positionné. L'actif offre également un large éventail de paramètres de contrôle liés à la température, la direction et la configuration du faisceau, la vitesse de dépôt des pulvérisateurs et la puissance RF. Il est également possible de contrôler et de contrôler la pression de la chambre et les flux de gaz. Pour obtenir un film uniforme du matériau désiré sur le substrat, le modèle de pulvérisation 3180 offre une excellente homogénéité et répétabilité. Il est équipé d'un pistolet à pulvérisation automatique et offre une homogénéité supérieure de l'épaisseur du film et une répétabilité de fonctionnement. L'uniformité d'épaisseur du film à travers le substrat est de +/-0,2 μ m, et l'uniformité typique à travers l'échantillon est de +/-0,5 μ m. Ceci permet d'assurer un revêtement optimal du substrat avec le matériau désiré. VARIAN 3180 est un système fiable, facile à utiliser et efficace pour le dépôt de couches minces. Il permet aux utilisateurs d'appliquer des revêtements uniformes sur des substrats avec un rendement élevé et une qualité constante. C'est l'un des systèmes de pulvérisation les plus fiables et les plus flexibles sur le marché, ce qui le rend idéal pour une gamme d'applications de recherche et développement.
Il n'y a pas encore de critiques