Occasion VARIAN 3180 #83197 à vendre en France
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ID: 83197
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering system, 4"
(2) Conmag targets
Mini quantum target
Pre-heat / Degas station
EUROTHERM 808 Backside wafer heater
Tiw station shielding to prevent particle contamination
Source isolation shielding to prevent particle contamination
Backside air system replaced with NUPRO iso valves and VCR connections
DC Power supply remote meter, digital
(2) Wafer cassettes, 4"
Standard VARIAN controller
VARIAN 919 IG Controller
FLUKE 1722A Process controller with SD card reader to replace floppy drive
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A Multimeter
MKS 250B Gas controller with MKS 248 valve assembly
(3) Gas systems with MKS MFC and 247 controller
VARIAN 880 Ion gauge controller
CTI CT-8 Cryo pump with compressor
VARIAN Cryo temperature monitor
LEYBOLD D-30 Mechanical pump
(3) ADVANCED ENERGY MDX DC Power supplies
PLASMATHERM 1000W RF Generator
Handling system with etcher, 4"
10 kW Power supply for Cu
5 kW Power supply for Tiw.
VARIAN 3180 est un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu multi-cibles conçu pour diverses applications, y compris le dépôt de films, le revêtement et le traitement de surface. Ce système de pulvérisation utilise des champs magnétiques pour créer des ions énergétiques qui sont utilisés pour déposer des couches minces sur un substrat. L'unité dispose de logiciels de contrôle et de matériel de pointe qui lui permettent de fournir des résultats de processus précis et reproductibles. La figure 3180 présente une source d'ions duoplasmiques intégrée et peu entretenue, qui présente plusieurs avantages par rapport aux sources de plasma classiques, notamment un faible coût de propriété et d'entretien, de faibles niveaux de déchets de traitement et un dépôt plus cohérent de films sur un plus large éventail de substrats. Les caractéristiques garantissent également la cohérence et la répétabilité de la haute qualité des films réalisés. La machine Magnetron Sputtering DC est également équipée d'une alimentation intégrée et robuste à haut débit, ce qui lui permet d'obtenir des taux de dépôt plus élevés que les autres systèmes sur le marché. Cela garantit des temps de cycle de processus plus rapides et une plus grande répétabilité du processus. L'outil offre une variété d'objectifs de pulvérisation qui sont conçus pour répondre aux exigences des caractéristiques spécifiques des matériaux. Les objectifs sont conçus pour être durables et offrir une fiabilité et des performances à long terme. L'actif dispose également de cathodes rétractables en carbone et graphite, qui permettent une large gamme de matériaux de substrat à utiliser avec le modèle et fournir des résultats de qualité supérieure. VARIAN 3180 est également soutenu par VARIAN multi-cible magnétron DC garantie équipement de pulvérisation, qui protège les composants du système en cas de défaillance de l'un d'eux pendant une utilisation normale. Cette garantie se fait au prix d'une redevance nominale, calculée en fonction de la taille et des caractéristiques de l'unité. Le logiciel de contrôle 3180 offre une large gamme d'options pour la personnalisation des utilisateurs. Les utilisateurs peuvent personnaliser les paramètres de leur machine pour contrôler la taille, la forme, l'emplacement et la position de la cible, ainsi que les paramètres actuels et de polarisation. Le logiciel permet également de créer des recettes et des programmes personnalisés, permettant aux utilisateurs de reproduire rapidement et avec précision leurs conditions de traitement. Dans l'ensemble, VARIAN 3180 fournit aux utilisateurs un outil de pulvérisation de haute qualité, rentable et fiable. Sa source d'ions duoplasmique, son alimentation électrique robuste à haut débit et sa large gamme de cibles de pulvérisation permettent aux utilisateurs de déposer des couches minces de matière sur un large éventail de substrats avec une excellente répétabilité, tandis que son logiciel de contrôle et son matériel offrent aux utilisateurs des options étendues de contrôle des utilisateurs. L'actif est soutenu par VARIAN multi-cible magnétron magnétron modèle de garantie, assurant que les composants sont couverts si elles subissent des dommages pendant le fonctionnement normal.
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