Occasion VARIAN 3180 #9004072 à vendre en France

VARIAN 3180 est un équipement de pulvérisation à courant continu à haut débit conçu pour les applications modernes de dépôt en couches minces. Il est principalement utilisé dans des industries telles que les semi-conducteurs, le stockage de données, l'optique et les revêtements industriels. Le système dispose d'une chambre à vide de 3,4 cm3, 24 litres, idéale pour le revêtement de petits substrats planaires ou de grands substrats circulaires, tout en maintenant un taux de traitement relativement élevé. Ses sources de pulvérisation magnétron comprenaient trois cibles d'hexaborure de lanthane (LaB6) et cinq cibles de tungstène (W) avec une densité de puissance allant jusqu'à 1000 W/cm2. 3180 dispose également d'un module d'alimentation capable de générer une large gamme de tensions de polarisation en courant continu de 0 à 1000 volts. Cela permet une modulation précise des qualités de dépôt des matériaux telles que la vitesse de dépôt, l'énergie et les caractéristiques physiques. En plus, l'alimentation fournit une unité de libération de cible Fibremate amovible pour une alimentation basse pression. La machine dispose également d'une option de régulation de la température du substrat. Pour ce faire, on introduit un chauffage uniforme assisté par flux de gaz à l'intérieur de la chambre pendant le dépôt ; permettant un dépôt uniforme à basse température. La plage de température maximale est réglable de 20˚C à 400˚C. VARIAN 3180 offre deux entrées de gaz contrôlables qui permettent de contrôler les paramètres de dépôt tels que les temps de séjour, les débits et la chimie des gaz. Cette option rend l'outil incroyablement polyvalent dans une variété d'applications de dépôt de couches minces. Enfin, 3180 dispose d'une interface utilisateur graphique sophistiquée (interface graphique) sur son écran tactile. Cette interface graphique offre une interface conviviale avec un suivi en temps réel de la performance des actifs et des indicateurs de performance. L'interface graphique est conçue pour rationaliser les processus de dépôt en couches minces, ce qui facilite l'identification des paramètres optimaux du procédé. Dans l'ensemble, le modèle VARIAN 3180 offre des caractéristiques et des options polyvalentes conçues pour simplifier les processus de dépôt de couches minces. Avec ses capacités de polarisation précisrDC, sa densité de puissance 50W/cm2, son contrôle programmable de la température du substrat et son interface utilisateur robuste, l'équipement est un choix idéal pour les applications de dépôt de couches minces à petite et grande échelle.