Occasion VARIAN 3180 #9238713 à vendre en France

VARIAN 3180 est un équipement polyvalent de pulvérisation à courant continu conçu pour le dépôt et la gravure de divers matériaux. Il utilise la technologie de pulvérisation par aimant permanent pour créer des films minces avec une plus grande uniformité et une plus grande résistance à l'adhérence. Cette technologie permet également le dépôt d'empilements multicouches complexes avec un contrôle précis des couches moléculaires. 3180 est complètement automatisé pour le processus repeatability et le plus grand débit et il est équipé avec deux magnetrons et deux assemblages prévus, ampères indépendants ou combinés pour chaque assemblage prévu, chambre de tube pour le bafouillage thermal, chambre de stockage optionnelle et un système diagnostique intelligent. VARIAN 3180 a la capacité de déposer une large gamme de matériaux, notamment des matériaux diélectriques, métalliques, semi-conducteurs, ferromagnétiques et isolants. Il peut réaliser une variété d'applications telles que le dépôt de matériaux optiques et électriques, films de protection, gravure chimique, gravure pour des modifications de conception, et plus encore. Les alimentations constantes, le réglage de la puissance de chaque cathode et le contrôle de la température cible permettent à cette unité d'optimiser le dépôt de films de haute qualité. 3180 se compose d'une chambre de 6 pouces de diamètre qui a trois parois de chambre, chacune avec des collimateurs multi-fentes. La paroi supérieure permet le dépôt de matériaux sur le substrat, la paroi inférieure aide à l'évacuation de la chambre, et la paroi médiane aide à l'alignement vertical de la cible. La chambre est équipée d'une purge indépendante à l'hélium et d'un double clic pour réduire la concentration d'oxygène dans le processus. La capacité de varier continuellement la pression pendant le dépôt de 0,001 mbar à 1,3 mbar aide à adapter précisément les paramètres du procédé et à optimiser la vitesse de dépôt, l'épaisseur du film et l'uniformité du substrat. Un large éventail de techniques de contrôle de processus sont également disponibles, y compris la puissance variable, le contrôle de la température cible et la rotation du substrat pour améliorer les performances du film. Le contrôleur intégré basé sur PC offre des capacités de stockage de recettes, de surveillance et de contrôle des processus, de contrôle diagnostique en temps réel et d'enregistrement des données. De plus, une machine de positionnement de substrats pilotée par ordinateur assure une localisation précise du substrat. VARIAN 3180 dispose d'un moniteur à cristaux de quartz 4 tours pour la mesure de l'épaisseur du film, ainsi que d'un outil de mesure de la réflectivité in-situ et ex-situ pour la surveillance en temps réel du processus de dépôt. L'actif est également équipé d'un bain à ultrasons pour le nettoyage des pièces d'échantillons avant revêtement et d'une cellule à quartz pour les mesures de conductivité électrique. Dans l'ensemble, 3180 fournit les capacités de dépôt, de gravure et de broyage ionique les plus efficaces dans un seul modèle, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. Ses caractéristiques permettent un dépôt contrôlé des films avec une qualité et une uniformité élevées de débit.